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EBARA/荏原  EV-SA系列真空干泵

EBARA EV-SA系列干泵

是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì)，最大排氣速度達(dá)到5000L/min，具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn)，除了用于生產(chǎn)工廠以外，還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境，也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的zuijia選擇。

技術(shù)特點(diǎn)：

l                      小型、輕量、占地面積小

l                      風(fēng)冷

l                      節(jié)能

l                      低噪音

l                      雙螺桿結(jié)構(gòu)

l                      無需維護(hù)

l                      認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)： CE、SEMI-S2/NRTL

典型應(yīng)用：

l                      科研實(shí)驗(yàn)室

l                      PVD真空鍍膜

l                      質(zhì)譜儀

l                      等離子清洗

l                      半導(dǎo)體、光伏制程

EBARA EV-SA系列干泵

技術(shù)參數(shù)

尺寸圖：