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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司近期推出新品OHARA小原株式會(huì)社用于 i 線的高均勻性光學(xué)玻璃
產(chǎn)品介紹
i線用高均勻性光學(xué)玻璃具有優(yōu)異的內(nèi)部透過率、優(yōu)異的光學(xué)均勻性、且日曬(紫外線引起的著色)少等特點(diǎn),可用于半導(dǎo)體制造裝置(步進(jìn)機(jī))及相關(guān)設(shè)備(照明等)。
特征
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01內(nèi)部透射率(τ)
玻璃透明度的指標(biāo)為不包含表面反射損失的光譜透射率(τ),表示365nm處的內(nèi)部透射率的保證值。但樣品厚度為10mm。
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02日曬
過度曝光度是指用超高壓汞燈照射照射前光譜透射率80%所對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)后,光譜透射率的下降程度。詳細(xì)的測(cè)定方法和條件,請(qǐng)參考“日本光學(xué)硝子工業(yè)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)(JOGIS)”。
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03光學(xué)均勻性
通過使用氦氖激光干涉儀測(cè)量平行玻璃平面的局部折射率變化Δn,來保證均勻性。保證Δn值會(huì)因玻璃種類、尺寸和形狀而異,因此分別表示160φ以下、210φ以下、260φ以下。交貨尺寸薄于25mm時(shí),將以25mm以上的暫定厚度進(jìn)行測(cè)量和保證。我們也可以提供比標(biāo)準(zhǔn)值更嚴(yán)格的規(guī)格,歡迎垂詢。
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04同一批次內(nèi)折射率的變化
同一批產(chǎn)品,相同退火工藝后Ni的偏差以小數(shù)點(diǎn)后第五位表示。例如:±1 (×10??)
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05性能容忍度
由于此為特殊規(guī)格,折射率高于產(chǎn)品目錄值時(shí),視為標(biāo)準(zhǔn)值,在此基礎(chǔ)上增加±20的公差,并將折射率(ni)的允許范圍顯示至小數(shù)點(diǎn)后第五位。例如:+20±20
物理特性
•本目錄格式基于本公司的光學(xué)玻璃主目錄,適用于i線以外的光學(xué)系統(tǒng)。各特性項(xiàng)目的詳細(xì)數(shù)據(jù)[PDF]請(qǐng)參考。以下項(xiàng)目與詳細(xì)數(shù)據(jù)[PDF]有所不同。
•給出了 326 至 2325 nm 范圍內(nèi) 22 個(gè)光譜的折射率。
•對(duì)于產(chǎn)品目錄中未列出的波長(zhǎng),折射率可以像以前一樣使用Sellmeier色散公式計(jì)算。由于色散公式的適用范圍有所擴(kuò)展,數(shù)據(jù)表列出了326至1129nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)使用的色散常數(shù)。如果您想了解1129nm至2325nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的折射率,請(qǐng)使用下面列出的色散常數(shù)。
•不僅顯示傳統(tǒng)的 10 毫米樣品厚度 (τ10) 的內(nèi)部透射率,還顯示更實(shí)用的 25 毫米厚度 (τ25) 的內(nèi)部透射率。
i線高均勻性光學(xué)玻璃數(shù)據(jù)
玻璃種類名稱 | 內(nèi)部 透射率 τ10mm (365nm) | 耐日曬 | 光學(xué)均勻性標(biāo)準(zhǔn)(×10 -6) | ni 批次內(nèi) 變異 (×10 -5 ) | 性能公差 (×10 -5) | ||
φ160mm 以下 | φ210mm 以下 | φ260mm 以下 | |||||
聯(lián)系我們 | 0.997 | 好的 | 2.0 | - | - | ±2 | +20±20 |
聯(lián)系我們 | 0.999 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +15±20 |
聯(lián)系我們 | 0.998 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±1 | +20±20 |
聯(lián)系我們 | 0.994 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.996 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +20±20 |
聯(lián)系我們 | 0.995 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +30±20 |
聯(lián)系我們 | 0.997 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.998 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.995 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.996 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.997 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.986 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.991 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
聯(lián)系我們 | 0.993 | 好的 | 1.0 | 1.6 | 2.0 | ±2 | +10±20 |
(注)光學(xué)均勻性標(biāo)準(zhǔn):根據(jù)玻璃種類和尺寸,我們可能會(huì)提供比上述值更嚴(yán)格的規(guī)格。更多詳情,請(qǐng)聯(lián)系我們。
(注)性能公差:我們可以適應(yīng)比上述值更嚴(yán)格的規(guī)格,因此請(qǐng)聯(lián)系我們了解詳情。
1129nm至2325nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的色散常數(shù)
玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 |
A1 | 7.65663766E-01 | A1 | 1.09972335E+00 | A1 | 1.29915001E+00 | A1 | 1.33265695E+00 |
A2 | 4.51879777E-01 | A2 | 3.87872537E-01 | A2 | 1.44676555E-01 | A2 | 1.51642865E-01 |
A3 | 1.13199134E+00 | A3 | 1.11247378E+00 | A3 | 1.00019303E+00 | A3 | 1.00238959E+00 |
B1 | 3.48152533E-03 | B1 | 5.82303457E-03 | B1 | 9.67218844E-03 | B1 | 1.00208464E-02 |
B2 | 1.28720516E-02 | B2 | 1.88745144E-02 | B2 | 4.65408008E-02 | B2 | 4.78779669E-02 |
B3 | 2.14351131E+02 | B3 | 1.08214962E+02 | B3 | 1.20780522E+02 | B3 | 1.19439670E+02 |
玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 |
A1 | 8.79731455E-01 | A1 | 1.12268320E+00 | A1 | 1.27520167E+00 | A1 | 1.32558993E+00 |
A2 | 3.08634219E-01 | A2 | 4.07804849E-01 | A2 | 1.28823528E-01 | A2 | 1.57859674E-01 |
A3 | 1.02136885E+00 | A3 | 1.16161178E+00 | A3 | 1.01138010E+00 | A3 | 1.03396744E+00 |
B1 | 4.90947559E-03 | B1 | 5.79521544E-03 | B1 | 9.37656096E-03 | B1 | 1.01008566E-02 |
B2 | 1.57419667E-02 | B2 | 1.91303182E-02 | B2 | 4.58001584E-02 | B2 | 4.74276657E-02 |
B3 | 1.11412218E+02 | B3 | 1.11113962E+02 | B3 | 1.23589724E+02 | B3 | 1.23686168E+02 |
玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | ||
A1 | 1.01218580E+00 | A1 | 1.23587282E+00 | A1 | 1.30190880E+00 | ||
A2 | 2.58122629E-01 | A2 | 1.14028206E-01 | A2 | 1.42348427E-01 | ||
A3 | 1.13916089E+00 | A3 | 9.21822183E-01 | A3 | 9.08115622E-01 | ||
B1 | 5.66358122E-03 | B1 | 8.98302029E-03 | B1 | 9.72147734E-03 | ||
B2 | 1.96285352E-02 | B2 | 4.39009973E-02 | B2 | 4.66540388E-02 | ||
B3 | 1.12904303E+02 | B3 | 1.14338154E+02 | B3 | 1.12377850E+02 | ||
玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | 玻璃類型 | 聯(lián)系我們 | ||
A1 | 1.18261390E+00 | A1 | 1.20208094E+00 | A1 | 1.37920265E+00 | ||
A2 | 2.03921973E-01 | A2 | 1.02467101E-01 | A2 | 1.74908080E-01 | ||
A3 | 1.11763340E+00 | A3 | 1.01797415E+00 | A3 | 9.72480533E-01 | ||
B1 | 6.85280751E-03 | B1 | 8.49251346E-03 | B1 | 1.06616552E-02 | ||
B2 | 2.50893634E-02 | B2 | 4.19306973E-02 | B2 | 4.96089256E-02 | ||
B3 | 1.24101415E+02 | B3 | 1.22687120E+02 | B3 | 1.16926659E+02 |