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晶圓片表面檢測(cè)燈

2024-3-20  閱讀(949)

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晶圓片表面檢測(cè)燈半導(dǎo)體表面瑕疵檢查燈 表面檢查燈廠家 黃綠光/白光檢查燈

wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈185LE-AL系列是一款黃綠光表面檢查燈(或者是白光),又叫半導(dǎo)體目檢燈,檢測(cè)燈的原理利用適合的LED燈源,通過(guò)光學(xué)鏡片折射出特殊波長(zhǎng)的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn),取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺(tái),直接通過(guò)照明光線和肉眼,觀測(cè)出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵,極大的節(jié)省了一般工廠的采購(gòu)成本。 PS-PH40,YP-250I表面檢查燈采用人眼敏感510-590NM之間波長(zhǎng)光,來(lái)做簡(jiǎn)單與明確的判別,可檢查到1um以下的刮痕或微粒子,并且具有綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光,幾乎可檢測(cè)出塵埃,大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)30萬(wàn)LX,可以檢測(cè)1μ的表面臟污,比傳統(tǒng)的表面檢查燈,效用增強(qiáng)10倍PSVLX1-F5016半導(dǎo)體目檢燈可根據(jù)使用場(chǎng)景,使用便攜手持式或桌面式(上在底座上即可)。

由于沒(méi)有閃爍并且沒(méi)有眼睛疲勞,所以電子照明方法提高了可加工性??梢宰杂傻剡M(jìn)行調(diào)光,并可以選擇佳條件。通過(guò)采用柔性臂,可以自由調(diào)節(jié)光源的角度??梢栽跓o(wú)塵室中使用??梢允褂冒惭b支架分離光源。連續(xù)照明時(shí),燈泡壽命為10,000小時(shí)。它可以切割500 nm或更短的波長(zhǎng),并且該波長(zhǎng)不會(huì)給人眼造成負(fù)擔(dān),因此使其成為視覺(jué)檢查光源的佳波長(zhǎng)。

半導(dǎo)體晶片不管是自主加工生產(chǎn)還是外購(gòu),都要對(duì)其外表進(jìn)行缺陷瑕疵檢查,避免瑕疵品在投入使用,從而導(dǎo)致成品成為不合格產(chǎn)品。上海峰志儀器有限公司用于半導(dǎo)體晶片表面缺陷瑕疵檢查燈以及測(cè)試系統(tǒng)主要技術(shù)指標(biāo)如下:
1、測(cè)試精度:可檢測(cè)出1um以下的缺陷瑕疵
2、光源:人眼易于察覺(jué)的綠光和黃光2種顏色的復(fù)合光
3、檢查系統(tǒng)帶工業(yè)相機(jī),可拍攝瑕疵點(diǎn)
4、樣式靈活,可手持式和桌面放置解放雙手
5、可調(diào)節(jié)燈光照射范圍


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