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深圳市京都玉崎電子有限公司
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腔室單元：腔室、閘閥、濺射源（或蒸發(fā)源或等離子體源）、觀察口、樣品臺（可選：加熱或冷卻、射頻應用）
排氣裝置：油回轉(zhuǎn)泵、渦輪分子泵（或油擴散泵+閥門）、支架等。
真空管路：（帶壓力表口、排氣閥、進氣口）
真空計1：皮拉尼真空計
真空計2：熱陰極電離真空計（BA真空計）
真空計3：隔膜真空計
電源裝置：濺射用直流電源（或濺射用射頻電源+匹配盒或電阻加熱蒸發(fā)用電源）
氣體引入單元：質(zhì)量流量控制器（或針閥組）
樣品輸送機器人（手動）
負載鎖和轉(zhuǎn)移室：（4 或 6 個室的室安裝表面）蓋子、粗抽閥、排氣閥、底座
