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半導體是指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。我們?nèi)粘Ｉ钪械碾娮赢a(chǎn)品，如計算機、等當中的核心單元都和半導體有著極為密切的聯(lián)系。
在半導體制造的多個工藝環(huán)節(jié)中，包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導體制造過程的精度和均勻性，半導體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運行。而獲得真空環(huán)境所需的設(shè)備即為真空泵。
今天要給大家介紹的是安川變頻器產(chǎn)品在真空泵設(shè)備中的應用。
半導體用干式真空泵設(shè)備
半導體成膜工藝
半導體用真空泵一般容易存在啟動、加速響應慢，抽速不夠穩(wěn)定；運行效率不高；開放大氣時易發(fā)生過載、過流故障而停機；面對雷雨季節(jié)及供電環(huán)境不好時，易因瞬時停電或電壓暫降而造成真空泵停機，造成半導體生產(chǎn)損失。
采用安川變頻器后設(shè)備的特性
1.穩(wěn)定性
高響應性，抗沖擊負載能力強，使真空泵穩(wěn)定運行。
2.高啟動轉(zhuǎn)矩
轉(zhuǎn)矩極限可根據(jù)速度切換，使泵在啟動及加速過程更快，更穩(wěn)定。
3.高效性
應對半導體不同工藝，通過專用功能，防止過載前提下保證真空泵高效運行。
4.節(jié)能
可高效、穩(wěn)定驅(qū)動配置PM電機的真空泵，更加節(jié)能。
5.高信賴性
即使發(fā)生瞬時停電或電壓暫降，可使真空泵保持輸出，電壓恢復后繼續(xù)運行。
安川變頻器在國內(nèi)外的真空泵設(shè)備上廣泛應用，業(yè)內(nèi)度高。能夠使半導體用真空泵在不同的半導體工藝下，穩(wěn)定、高效運行，滿足客戶需求。
