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小王子介紹壓力傳感器原理
表壓型壓力傳感器通過(guò)檢測(cè)膜片變形來(lái)測(cè)量壓力。檢測(cè)方式有半導(dǎo)體計(jì)式、應(yīng)變計(jì)式、金屬薄膜式等多種。
膜片表面放置四個(gè)計(jì)量電阻，當(dāng)膜片因壓力而變形時(shí)，電阻值會(huì)發(fā)生變化。四個(gè)測(cè)量電阻組裝成橋式電路，電阻的變化作為電壓輸出。
1.半導(dǎo)體表壓傳感器
半導(dǎo)體表壓傳感器使用半導(dǎo)體本身作為隔膜，并利用壓電效應(yīng)測(cè)量壓力，壓電效應(yīng)是半導(dǎo)體受到壓力時(shí)電阻發(fā)生變化的特性。抗壓變化比其他方法大得多，因此可以制造堅(jiān)固的隔膜，使設(shè)備高度耐用。
2.應(yīng)變式壓力傳感器
應(yīng)變計(jì)壓力傳感器通過(guò)將應(yīng)變計(jì)連接到隔膜背面來(lái)測(cè)量應(yīng)變計(jì)電阻的變化。應(yīng)變片是利用金屬變形時(shí)電阻發(fā)生變化的特性來(lái)測(cè)量應(yīng)變，并通過(guò)應(yīng)變與壓力匹配來(lái)輸出壓力的裝置。
3.金屬薄膜壓力傳感器
金屬薄膜壓力傳感器通過(guò)在膜片上形成金屬薄膜并測(cè)量因壓力而變形的金屬薄膜的電阻變化來(lái)測(cè)量壓力。其特點(diǎn)是比應(yīng)變片式靈敏度更高，甚至可以在高溫下使用。
