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產地類別	進口	應用領域	電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣,綜合
訂貨號	176.0755.4908.

通用HORIBA堀場高精度膜流量計

在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

級別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

這是質量流量計專用的監(jiān)控單元。

業(yè)務部門：半導體

產品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規(guī)格

流量報警輸出功能外部輸出：集電極開路

流量信號輸出：0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

適用標準安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容數(shù)字/模擬通信模型

顯示單元

這是一個以數(shù)字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。

業(yè)務部門：半導體

產品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

高精度薄膜流量計SF-1U/2U
展示	LDC 6位數(shù)字顯示（可切換顯示測量流量、測量時間、溫度、設定壓力等）
自動測量功能	在自動模式下執(zhí)行自動測量和平均值計算2至10次（可以調用先前存儲的數(shù)據(jù)；關閉電源會清除電源）
工作環(huán)境速度	5~40℃ 精度保證范圍（15~30℃）
外部輸入/輸出	符合 RS-232C 標準
電源	AC適配器（DC7V）驅動

可滾動的

卷管裝置VP-1U
流量測量范圍	0.2～10mL/分鐘
準確性	0.5%(±1%)0.2～2mL/min(2～10mL/min)
目標氣體	N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。
環(huán)境溫度	5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃）
外部輸入/輸出	符合 RS-232C 標準

可滾動的

體積管單元VP-2U
流量測量范圍	2～100mL/分鐘
準確性	0.5%(±1%)2～20mL/min(20～100mL/min)
目標氣體	N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。
環(huán)境溫度	5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃）
外部輸入/輸出	符合 RS-232C 標準

可滾動的

體積管單元VP-3U
流量測量范圍	20～1000mL/分鐘
準確性	0.5%(±1%)20～200mL/min(200～1000mL/min)
目標氣體	N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。
環(huán)境溫度	5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃）
外部輸入/輸出	符合 RS-232C 標準

可滾動的

卷管裝置VP-4U
流量測量范圍	0.2～10L/分鐘
準確性	0.5%(±1%)0.2~1升/分鐘(1~10升/分鐘)
目標氣體	N2 、空氣、O2 、 H2 、 He 、 Ar、CO 、CH4、C3H8等注）不能測量水溶性氣體和腐蝕性氣體。
環(huán)境溫度	5~40℃ 精度保證范圍（15℃~35℃）
外部輸入/輸出	符合 RS-232C 標準