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恩欣格Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導體行業(yè)

時間:2024/6/13閱讀:724
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Ensinger用于CMP研磨環(huán)的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導體行業(yè)


TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),專門針對CMP研磨環(huán)應用而優(yōu)化,因此是恩欣格半導體行業(yè)產品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能,相比標準PPS聚合物,在用作CMP研磨環(huán)時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

TECATRON CMP natural的原名是TECATRON SE natural。

材料選擇的關鍵挑戰(zhàn)是CMP研磨環(huán)材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導致不同數(shù)量的襯墊碎片,并影響碎片夾帶的程度,進而對CMP工藝的整體性能產生重大影響。

研究表明,TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊,因此研磨墊粗糙度得到改善,從而提高了材料的去除率,同時也減少了缺陷。

(見研究報告,此產品在文章中被稱為TECATRON SE,是TECATRON CMP材料的舊稱) 

與恩欣格所有半導體級材料一樣,TECATRON CMP natural管材的生產符合半導體的精確復制要求 (也稱為精確復制或CE),與工業(yè)級PPS相比,它的質量控制更為嚴格。

與標準工業(yè)級PPS塑料相比,額外的質量控制和措施降低了材料的雜質風險,改善了其內部應力和尺寸穩(wěn)定性。


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