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MFC330 傳感器基于毛細(xì)管柱熱式傳感器，毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。

氣流進(jìn)入MFC后，分成兩個內(nèi)部流路：

第一條路徑：流經(jīng)加熱的毛細(xì)管傳感器管，該管的直徑較小且長度較長。

第二條平行路徑：通過分流旁路。

兩條路徑的流量比例取決于分流柱的設(shè)定，出廠前完成該設(shè)定。

設(shè)定完成后，通過毛細(xì)管柱傳感器管和分流旁路的流量之比是恒定的。

毛細(xì)管傳感器管通過氣體的熱容量來測量其內(nèi)部質(zhì)量流量，氣體的熱量將熱量從上游電阻溫度檢測器繞組帶到下游繞組，二者都在傳感器管的外部。

需要預(yù)熱： 5min 內(nèi)達(dá)到 95% 流量精度，最長預(yù)熱30min

基于熱傳導(dǎo)，MFC響應(yīng)速度≤ 1s  優(yōu)點(diǎn)：由于其非接觸式的結(jié)構(gòu)，抗腐蝕，液體不損壞，過流不損壞。