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一，質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 在現(xiàn)代工業(yè)過程中扮演著至關(guān)重要的角色。它憑借其高精度、穩(wěn)定性以及在多個(gè)行業(yè)中的廣泛應(yīng)用。與傳統(tǒng)的體積流量控制器不同，MFC直接以氣體的質(zhì)量為控制對(duì)象，這在溫度波動(dòng)大或氣體種類繁多的環(huán)境下顯得尤為重要。由于氣體的體積會(huì)隨溫度和壓力的變化而變化，而質(zhì)量則保持恒定，因此MFC能夠提供更加穩(wěn)定、準(zhǔn)確的流量控制，從而確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。MFC的主要功能包括精確流量控制、流量監(jiān)測(cè)與顯示以及氣體混合控制。在精確流量控制方面，MFC可根據(jù)工藝需求精確設(shè)定和調(diào)節(jié)氣體或液體的質(zhì)量流量值，通過內(nèi)部的控制機(jī)構(gòu)和算法將實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值，確保流量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。此外，MFC在小流量控制方面也表現(xiàn)出色，能精確控制如幾毫升每分鐘甚至更小的流量，滿足生物醫(yī)藥、微電子等對(duì)微量流體精確控制的需求。同時(shí)，MFC還具備實(shí)時(shí)流量監(jiān)測(cè)與顯示功能。它內(nèi)置流量傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)流體的質(zhì)量流量，并將流量數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)供系統(tǒng)實(shí)時(shí)獲取。此外，MFC通常配備顯示屏直觀顯示實(shí)時(shí)流量值，方便操作人員查看和記錄，也可通過通信接口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔粰C(jī)或控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和管理。此外，MFC還廣泛應(yīng)用于氣體混合控制領(lǐng)域。它能夠精確控制多種氣體的混合比例和質(zhì)量流量，滿足不同工藝需求。在半導(dǎo)體制造、化學(xué)工程、生物醫(yī)藥等多個(gè)行業(yè)中，MFC都發(fā)揮著舉足輕重的作用。氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 氣壓—101325Pa（760mm Hg）; 溫度—0℃ （273。15K）。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。對(duì)多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min），這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù)， 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。所以說，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。