提高真空泵抽氣極限可從真空泵本身性能提升、系統(tǒng)設(shè)計(jì)優(yōu)化以及輔助措施加強(qiáng)等方面著手，具體方法如下：
根據(jù)需求選泵：不同類型的真空泵工作原理和性能特點(diǎn)各異。對(duì)于需要高真空度的半導(dǎo)體制造等場(chǎng)景，可選擇擴(kuò)散泵、分子泵等。擴(kuò)散泵能獲得高真空，且抽氣速度快；分子泵則具有清潔、無油污染、極限真空度高等優(yōu)點(diǎn)。
采用多級(jí)泵組合：將不同類型的真空泵組合使用，形成多級(jí)抽氣系統(tǒng)。例如，先使用旋片泵進(jìn)行預(yù)抽，將系統(tǒng)壓力降低到一定程度后，再啟動(dòng)分子泵或擴(kuò)散泵等獲得更高的真空度。這樣可以充分發(fā)揮各種泵的優(yōu)勢(shì)，提高整體抽氣性能。
改進(jìn)泵的內(nèi)部結(jié)構(gòu)：通過優(yōu)化真空泵的內(nèi)部流道設(shè)計(jì)、葉片形狀等，減少氣體流動(dòng)阻力，提高氣體傳輸效率。例如，采用新型的葉輪設(shè)計(jì)，使氣體在泵內(nèi)的流動(dòng)更加順暢，從而提高抽氣速度和抽氣極限。
提高泵的制造精度：嚴(yán)格控制真空泵零部件的加工精度和裝配質(zhì)量，確保泵內(nèi)部的間隙均勻、密封良好。高精度的制造可以減少氣體泄漏，提高真空泵的性能和可靠性。
使用優(yōu)質(zhì)密封材料：在真空系統(tǒng)的連接部位，選用密封性能好的材料，如氟橡膠、聚四氟乙烯等。這些材料具有良好的耐腐蝕性和耐老化性，能夠在不同的工作環(huán)境下保持良好的密封性能。
優(yōu)化密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：采用合理的密封結(jié)構(gòu)，如法蘭連接采用金屬墊片密封，確保連接部位的密封性。同時(shí)，對(duì)真空系統(tǒng)中的管道、閥門等部件進(jìn)行嚴(yán)格的密封處理，減少泄漏點(diǎn)。
定期檢查和更換零部件：定期對(duì)真空泵進(jìn)行檢查，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并更換磨損或損壞的零部件，如泵油、密封圈、葉輪等。確保真空泵的各個(gè)部件處于良好的工作狀態(tài)，以維持其性能穩(wěn)定。
保持泵的清潔：定期清潔真空泵內(nèi)部和外部，防止灰塵、油污等雜質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)，影響抽氣性能。對(duì)于有油潤(rùn)滑的真空泵，要定期更換泵油，保持油的清潔度和性能。
低溫吸附技術(shù)：在真空系統(tǒng)中設(shè)置低溫吸附阱，利用低溫材料對(duì)氣體的吸附作用，進(jìn)一步降低系統(tǒng)中的氣體含量。例如，使用液氮冷卻的活性炭吸附阱，可以吸附多種氣體，提高真空度。
離子泵技術(shù)：離子泵是一種利用離子化和吸附原理來抽氣的設(shè)備。它可以將氣體分子離子化，并將其吸附在電極表面，從而達(dá)到抽氣的目的。離子泵具有抽氣速度快、抽氣極限高、無油污染等優(yōu)點(diǎn)，常用于高真空和超高真空系統(tǒng)中。
中級(jí)會(huì)員·2年
