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KASHIYAMA樫山工業(yè)真空泵的工作原理和產(chǎn)品特性

2025-6-20  閱讀(116)

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日本樫山工業(yè)(Kashiyama Industrial Co., Ltd.)創(chuàng)立于1949年,總部位于日本愛(ài)知縣春日井市,擁有70多年的歷史,是一家以專業(yè)研發(fā)、制造真空泵及相關(guān)設(shè)備而有名的工業(yè)技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域。以下是對(duì)其主要產(chǎn)品真空泵的工作原理及相關(guān)技術(shù)參數(shù)的專業(yè)介紹:

機(jī)械真空泵工作原理

機(jī)械真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片等關(guān)鍵部件構(gòu)成。當(dāng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),旋片在離心力作用下緊貼泵腔內(nèi)壁,形成多個(gè)小腔室。這些腔室在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不斷變化體積,實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、壓縮,并最終通過(guò)排氣口排出,從而在泵的吸入端形成真空環(huán)境

水環(huán)真空泵工作原理

水環(huán)真空泵由圓形殼體和偏心安裝的葉輪組成。葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí),水在離心力作用下形成與殼體同心的水膜,葉輪與水膜及相鄰葉片形成密封空間。隨著葉輪旋轉(zhuǎn),該空間體積變化,完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程,實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境

干式真空泵工作原理

干式真空泵無(wú)需油或水等介質(zhì)潤(rùn)滑和密封。以干式螺桿泵為例,兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子反向旋轉(zhuǎn),氣體被吸入并隨著螺桿的螺旋運(yùn)動(dòng)被壓縮,最終排出泵體,從而實(shí)現(xiàn)真空

技術(shù)參數(shù)

表格
系列名稱電機(jī)功率(kW)極限壓力(Pa)排氣速度(m3/h)冷卻方式重量(kg)
SDE-X1.30.12-1.0200-500風(fēng)冷約150-200
LEM0.2-112.3×103-7.3×10317-300水冷15-300
LEH0.75-7.52.3×103-7.3×10322-150水冷19-250
SDE-TX具體值未提及0.530000具體方式未提及440
NeoDry15G具體值未提及1.0250具體方式未提及約120-150
樫山工業(yè)的真空泵產(chǎn)品憑借其性能和可靠性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)處理、食品包裝、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域,為各行業(yè)的工藝流程提供了關(guān)鍵的真空環(huán)境支持,推動(dòng)了相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步。在半導(dǎo)體行業(yè),其產(chǎn)品可用于PVD、CVD、刻蝕等工藝,滿足高潔凈度要求。在化工領(lǐng)域,適用于各種化學(xué)反應(yīng)的真空環(huán)境需求。在食品包裝方面,能有效實(shí)現(xiàn)食品的真空包裝,延長(zhǎng)保質(zhì)期。在醫(yī)藥生產(chǎn)中,可用于藥品的干燥、提取等工藝過(guò)程。


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