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高精度智能配氣儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進行各種氣體混合，濃度稀釋的一種裝置，可稀釋范圍寬，精度高?？筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進行控制和二次編程。還可以定制加入一些溫度、壓力的監(jiān)測功能；壓力調(diào)節(jié)功能；濕度控制功能；數(shù)據(jù)記錄功能；故障報警提示功能；可以說是一整套氣體解決方案。

適用研究方向：氣體傳感器，氣敏元件，燃料電池、生物化工，生物工程等需要極低濃度長時間穩(wěn)定輸出的工況。

設備功能：高精度智能配氣儀通過自動動態(tài)調(diào)節(jié)兩級氣體配比流量，逐級配氣，并通過創(chuàng)新算法及管路結(jié)構達到高于普通一級配氣三個數(shù)量級的濃度配比輸出。

技術特點：

濃度配比輸出范圍寬可以實現(xiàn) 1ppb-90%的濃度比例輸出

通過創(chuàng)新的結(jié)構及軟件控制方式可實現(xiàn)長時間穩(wěn)定低濃度氣流輸出

設備可按照客戶定制氣體種類及應用工況溫度

可直接按輸出濃度自動配氣

主要參數(shù)：

流量范圍：0-10SLM

濃度輸出范圍：1ppb-99.9%

氣源要求：純氣

加熱溫度：室溫-100℃

氣體：N2、H2、02、He、Ar、CH4、S02、C02、CO、等氣體