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儀器簡介:
    用旋片式機(jī)械泵及油擴(kuò)散泵組成真空機(jī)組，使系統(tǒng)獲得高真空。觀察并利用復(fù)合真空計(jì)測量系統(tǒng)真空度。
    當(dāng)獲得所需滿意的高真空要求時（真空度不低于10-2Pa），用真空蒸發(fā)鍍膜的方法使材料中分子或原子的熱振動能量超過表面的束縛能，從而使大量分子或原子蒸發(fā)或升華，并直接沉淀在基片上形成薄膜。

技術(shù)參數(shù):
1、機(jī)械泵:抽速0.5（升／秒）,極限真空0.06（帕）,轉(zhuǎn)速：1400（轉(zhuǎn)／分）
2、油擴(kuò)散泵:  三級油擴(kuò)散泵內(nèi)60升/秒;極限壓強(qiáng)是1×10-5 Pa 
3、外形：鐘罩式（內(nèi)徑300mm）
4、蒸發(fā)方式：電加熱；電子束蒸發(fā)
5、基片旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動
6、控制方式：手動/自動

特 點(diǎn)：
   由高真空鍍膜工作室、真空測量真空機(jī)組組成?？赏瓿山虒W(xué)大綱中真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)要求的多項(xiàng)內(nèi)容?？筛鶕?jù)實(shí)驗(yàn)的具體要求選擇、增減設(shè)備進(jìn)行組合。