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特點(diǎn)

無懼重量限制-無限的測(cè)量能力

600 x 600mm的寬廣移動(dòng)范圍，每秒1米的驚人速度。閉環(huán)XY龍門架設(shè)計(jì)，無懼重量限制，性能始終如一。

安心使用

經(jīng)認(rèn)證可用于半導(dǎo)體表征，該系統(tǒng)經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，符合SEMI S2和S8等多項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并通過了德國(guó)萊茵TÜV認(rèn)證。

三合一技術(shù)

超高的測(cè)量通用性，無塵測(cè)量頭S neox Cleanroom提供三種不同的光學(xué)技術(shù)，可針對(duì)每個(gè)特定樣品使用適合的技術(shù)進(jìn)行成像，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)精度。

嚴(yán)格符合ISO 1級(jí)別

適用于無塵間，測(cè)量傳感器符合 ISO 1 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。機(jī)身由不銹鋼制成，可減少微粒排放。

軟件

內(nèi)置采集軟件：一體化軟件解決方案

該測(cè)量系統(tǒng)由易于使用的SensoSCAN控制，它為測(cè)量自動(dòng)化提供了更多且更強(qiáng)大的功能。

SensoPRO-快速質(zhì)量控制

基于插件的解決方案，SensoPRO擁有大量插件，可滿足常見的自動(dòng)化分析需求和定制應(yīng)用。

為消費(fèi)電子產(chǎn)品量身定制的解決方案

SensoPRO軟件可在質(zhì)量控制中實(shí)現(xiàn)分析自動(dòng)化，高效處理大量數(shù)據(jù)。我們提供了一系列定制插件，以滿足消費(fèi)電子行業(yè)的特殊要求。

SensoVIEW-功能強(qiáng)大的分析軟件

拓寬分析視野,SensoVIEW是適用于各種任務(wù)的理想分析軟件。它擁有一套完整的工具包，可從二維和三維數(shù)據(jù)集中提取數(shù)據(jù)。

表面分析

SensoVIEW為專門的操作人員提供了用戶友好型的分步式界面，可按照相應(yīng)的ISO標(biāo)準(zhǔn)提取平面度和表面紋理參數(shù)、進(jìn)行體積計(jì)算等。

尺寸測(cè)量

有多種工具可用于輪廓和剖面圖的關(guān)鍵尺寸分析。每種工具都配備了自動(dòng)調(diào)整功能，并能納入公差，確保能進(jìn)行全面的尺寸分析。

規(guī)格

技術(shù)

照明光源

尺寸（mm/"）

物鏡-明場(chǎng)

物鏡-干涉

PSI/ePSI/CSI

龍門式XY平臺(tái)

標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證