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如皋市原野勘察機(jī)械廠
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MPS-10X型多功能型探針臺

參   考   價: 555

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時間:2025-05-30 16:46:29瀏覽次數(shù):47次

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合
在實際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低得簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺,探針座,四維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);


MPS-10X型多功能型探針臺


產(chǎn)品簡介 :

在實際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低得簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺,探針座,四維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);

 在實際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實用,成本較低得簡易式探針臺,在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺,探針座,四維調(diào)整載片臺(Chuck),真空吸附系統(tǒng);

主要技術(shù)指標(biāo):

結(jié)構(gòu)緊湊,功能實用,價格實惠

最大可用于12寸以內(nèi)樣品測試

兼容高倍率電子顯微鏡,可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

漏電流精度:10pA/100fa(屏蔽箱內(nèi))

精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu),線性移動,無回程差設(shè)計

應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實驗室使用

1微米以上電極/PAD使用

模塊化設(shè)計,可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

技術(shù)參數(shù)選型:

規(guī)格/參數(shù)

型號

MPS-4

MPS-6

MPS-8

MPS-12

電力需求

220VC,50-60HZ

樣品臺

尺寸

4

6

8

12

行程

XY行程50mmZ軸升降60mm,360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊

移動精度

標(biāo)配10μm,可升級(5μm3μm,1μm

背電極測試功能

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

定制模塊

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

可定制位移行程和精度

探針調(diào)整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

機(jī)械精度

標(biāo)配10μm,可升級(5μm,3μm1μm

漏電精度

10pA-100fA(配置屏蔽箱)

安裝方式

直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附

接口形式

香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC

光學(xué)成像

放大倍數(shù)

7-200倍(最大可升級到720倍)

CCD像素

500W(可升級200W

中心距離

140mm,升降范圍270mm,總高度350mm

顯示器

8寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個屏幕(可升級大尺寸顯微鏡)

可選附件

加熱卡盤

高低溫卡盤

鍍金卡盤

隔振支架

積分球測試選件

屏蔽箱

射頻測試附件

導(dǎo)入光源支架

波長單色可調(diào)光纖光源(測光電流)

顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置

激光切割顯微鏡

轉(zhuǎn)接頭配件


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