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產品概要

JKZC-DN系列探針臺是我司一款增強型晶圓測試探針臺，最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺釆 用高剛性顯微鏡龍門結構，顯微鏡可X-Y-Z方向進行精密位移調節(jié)?？ūP具備上下調節(jié)功能,可以使探針與 樣品快速分離，提高測試效率，在科研單位和半導體工廠都得到了廣泛運用，配合對應的儀器儀表,可以完 成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓LED/LCD/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現1μm以上的Pad電極測試。

|技術特點

•顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動升降，保證高質量的光學成像；

•卡盤同時具備快速和微調升降，便于樣品和探針快速分離，也可以加載探針卡；

•可升級性強，可升級卡盤360度快速移動，可升級光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。

詳細參數

搭配產品/半導體參數分析儀

我們經過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經驗。半導體參數分析儀方面，我們和是德科技(Keysight)、 泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導體參數 分析儀有過多次搭配經驗，系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并為用戶提供半導體參數分析 儀與探針臺集成測試方案和服務。

搭配產品/矢量網絡分析儀

依靠與儀器設備廠商和設備集成經銷商所保持良好的合作關系，我司 可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的 網絡分析儀和模塊，有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、 Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E 等,各系列型號的矢量網絡 分析儀和毫米波網絡分析儀，涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能，并 為用戶提供網絡分析儀與探針臺集成測試方案和服務,具備豐富的測 試經驗。

搭配產品/其他類型源表

在其它類型源表方面，比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普賽斯 S300,鐵電分析儀，各類示波器，各類電源，頻譜儀等等都有多年的搭 配經驗。