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如皋市原野勘察機(jī)械廠
中級(jí)會(huì)員 | 第1年

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MPS- 6'' 探針臺(tái) Mini Probe Station
  • MPS- 6'' 探針臺(tái) Mini Probe Station

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2025-05-30 16:54:53

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* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測(cè)試
*同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK
*可以升級(jí)做射頻測(cè)試
*20X~2000X 光學(xué)顯微放大
*無(wú)后座力移動(dòng)
*可以選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動(dòng)升降裝置

MPS- 6'' 探針臺(tái) Mini Probe Station



特點(diǎn)

類型

規(guī)格


* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測(cè)試
*同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK
*可以升級(jí)做射頻測(cè)試
*20X~2000X 光學(xué)顯微放大
*無(wú)后座力移動(dòng)
*可以選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動(dòng)升降裝置

顯微鏡控制

在探針臺(tái)本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置,使在測(cè)試過程中更換物鏡和樣品更為方便,避免了會(huì)有碰傷樣品和鏡頭的問題


顯微鏡X-Y軸行程:2" x2"


顯微鏡放大倍率:20X~2000X (倍率可選)


chuck(卡盤)

尺寸:6英寸,圓形(方形可選)


材質(zhì):不銹鋼(可升級(jí)鍍金)


旋轉(zhuǎn)角度:0-360°可帶角度鎖定,精度0.1°


X-Y移動(dòng)行程:6" x6",移動(dòng)精度:5um(可升級(jí)為1um精度)


Z軸升降行程:5mm,卡盤快速升降,方便更換樣品,不會(huì)碰觸到其他已調(diào)試好器件


吸附孔:中心孔徑最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸為6"X6"


整體規(guī)格

尺寸:850mm長(zhǎng) x 680mm x 720mm (帶顯微鏡)


重量: 100 Kg(帶顯微鏡)


U型大平臺(tái),可放置8個(gè)探針座


平整度:5um,使針座吸附更牢固(可定制針座固定在平面上)


附件可選:

激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺(tái)、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè)





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