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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> MPS- 6'' 探針臺(tái) Mini Probe Station
特點(diǎn) | 類型 | 規(guī)格 | |
* 適用于6英寸以內(nèi)的各種半導(dǎo)體器件的高精度測(cè)試 | 顯微鏡控制 | 在探針臺(tái)本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置,使在測(cè)試過程中更換物鏡和樣品更為方便,避免了會(huì)有碰傷樣品和鏡頭的問題 | |
顯微鏡X-Y軸行程:2" x2" | |||
顯微鏡放大倍率:20X~2000X (倍率可選) | |||
chuck(卡盤) | 尺寸:6英寸,圓形(方形可選) | ||
材質(zhì):不銹鋼(可升級(jí)鍍金) | |||
旋轉(zhuǎn)角度:0-360°可帶角度鎖定,精度0.1° | |||
X-Y移動(dòng)行程:6" x6",移動(dòng)精度:5um(可升級(jí)為1um精度) | |||
Z軸升降行程:5mm,卡盤快速升降,方便更換樣品,不會(huì)碰觸到其他已調(diào)試好器件 | |||
吸附孔:中心孔徑最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸為6"X6" | |||
整體規(guī)格 | 尺寸:850mm長(zhǎng) x 680mm寬 x 720mm高 (帶顯微鏡) | ||
重量: 100 Kg(帶顯微鏡) | |||
U型大平臺(tái),可放置8個(gè)探針座 | |||
平整度:5um,使針座吸附更牢固(可定制針座固定在平面上) | |||
附件可選: 激光切割、探針卡夾具、高低溫樣品臺(tái)、防震桌、CCD視頻系統(tǒng)、屏蔽箱、顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè) | |||
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