株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA），這家擁有深厚技術(shù)底蘊(yùn)的日本專業(yè)廠商，自1950年創(chuàng)立以來，便致力于精密測(cè)定的研究與創(chuàng)新。其中，KOSAKA ET150臺(tái)階儀是該公司的杰出代表，它基于Windows XP操作系統(tǒng)，為各類表面提供全面的形貌分析。無論是半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片，還是薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子等，ET150都能應(yīng)對(duì)自如，實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。其的金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量方式，使得表面形貌分析變得簡(jiǎn)單而可靠。此外，ET150還具備多種功能，如測(cè)量表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度以及薄膜應(yīng)力等。

該儀器配備了不同型號(hào)的探針，并提供了程序控制接觸力和垂直范圍的探頭。其彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)使得探針工作狀態(tài)一目了然，大大提高了測(cè)試區(qū)域的定位準(zhǔn)確性。同時(shí)，ET150還具備二次元表面解析功能，可輕松測(cè)量段差，且具有高精度、高分辨率以及出色的再現(xiàn)性。此外，其FPD面板顯示使得微細(xì)表面形狀、段差、粗度等的測(cè)定變得簡(jiǎn)單易懂。更值得一提的是，其低測(cè)定力設(shè)計(jì)使得軟質(zhì)材料的測(cè)定也成為可能。

縱軸可達(dá)到的最高分辨率為0.1納米，而橫軸的最高分辨率則可達(dá)到0.1微米，這使得KOSAKA ET150臺(tái)階儀能夠精確地測(cè)定微細(xì)形狀。

其測(cè)定力范圍可靈活設(shè)定，從10至500微牛頓，或1至50毫克力，適應(yīng)不同材料的測(cè)量需求。該臺(tái)階儀特別適用于軟質(zhì)材料的表面測(cè)量，例如COLOR FILTER、SPACER以及PI等。