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更新時間：2022-11-30 09:03:23瀏覽次數(shù)：477評價

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產(chǎn)品分類品牌分類

Ion Beam

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產(chǎn)品簡介

離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對盒式模式。系統(tǒng)配置與實際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。詢價增加到詢價列表在詢價列表中查看此產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計 ——運行成本低
高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為準(zhǔn)確的實時光學(xué)薄膜控制
配置靈活 ——適于良好的研究應(yīng)用
靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對盒模式