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目錄:牛津儀器(上海)有限公司>>ICP Etching>> PlasmaPro 100 Polaris

PlasmaPro 100 Polaris
  • PlasmaPro 100 Polaris
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更新時間:2022-11-30 17:40:48瀏覽次數(shù):279評價

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單晶圓刻蝕技術(shù)的進展憑借在蝕刻GaN,SiC和藍寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗,我們的技術(shù)既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。

PlasmaPro 100 Polaris專為刻蝕堅硬材料(如GaN,藍寶石和SiC)所需要使用的腐蝕性化學氣體而設(shè)計,可在直徑200mm的晶圓上實現(xiàn)快速均勻刻蝕。

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