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INCA Crystal電子背散射衍射系統(tǒng)(EBSD)是顯微分析領(lǐng)域活力和前景的亞微米級顯微分析技術(shù)手段。它作為掃描電鏡上的一個附件，集顯微結(jié)構(gòu),顯微織構(gòu)，相鑒定等多種功能于一身，開辟了一個全新的科學(xué)領(lǐng)域：INCA Crystal 覆蓋了TEM 和 XRD 的部分研究范圍，更重要的是，可以進行許多 TEM 和 XRD 所不能完成的研究工作。     

目前，INCA Cystal 剛剛完成了硬件和軟件的全面升級，其性能和功能全面超過了任何一家EBSD，真正做到了人無我有、人有我優(yōu)。

應(yīng)用：
電子背散射分析 (EBSD) 是在掃描電鏡（SEM）條件下分析樣品晶體結(jié)構(gòu)的一種分析手段。

EBSD 的主要用途包括

• 大專院校和研究機構(gòu)中的材料科學(xué)和冶金學(xué)研究
• 半導(dǎo)體行業(yè)的研究和制造
• 鋼鐵制造和處理
• 鋁制品的生產(chǎn)和處理
• 陶瓷業(yè)
• 電子業(yè)
• 汽車行業(yè)
• 太空技術(shù)和國防行業(yè)
• 能源業(yè)
• 核技術(shù)

在過去的十幾年中，EBSD已經(jīng)成為掃描電鏡測量中的一種成熟手段，從樣品中獲取將提信息已經(jīng)變得簡單易行。牛津儀器自從EBSD技術(shù)投入市場以來，一直致力于該技術(shù)的發(fā)展與研制。