賀德克傳感器HDA5500-0-1-AC-000來自HYDAC總經(jīng)銷
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賀德克壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。
賀德克壓力傳感器優(yōu)點(diǎn)是: ① 頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動態(tài)測量; ② 體積?。ɡ缬械漠a(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米),適于微型化; ③ 精度高,可達(dá)0.1~0.01%; ④ 靈敏高,比金屬應(yīng)變計高出很多倍,有些應(yīng)用場合可不加放大器; ⑤ 無活動部件,可靠性高,能工作于振動、沖擊、腐蝕、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán) 境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大(有時需進(jìn)行溫度補(bǔ)償)、工藝較復(fù)雜和造價高等。 缺點(diǎn)是: ① 溫度特性差,由于壓阻式壓力傳感器是用半導(dǎo)體材料制作的,受溫度影 響較大,因此,在溫度變化大的環(huán)境中使用時,必須進(jìn)行溫度補(bǔ)償。
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賀德克傳感器應(yīng)用
賀德克傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等各個領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個關(guān)鍵參數(shù),對靜態(tài)和動態(tài)壓力,局部壓力和整個壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動機(jī)進(jìn)氣口的動態(tài)畸變、葉柵的脈動壓力和機(jī)翼的抖動等。在飛機(jī)噴氣發(fā)動機(jī)中心壓力的測量中,使用專門設(shè)計的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗(yàn)中,壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動機(jī)進(jìn)氣管道模型中。單個傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高達(dá)300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。3是一種用于測量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)。壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機(jī)的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計算機(jī)的進(jìn)一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。
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