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在分析被測濾膜上的殘留物顆粒時，濾膜上金屬顆粒的表面局部單個或多個位置呈現(xiàn)反光，普通明場掃描不能準確判斷顆粒的大小及數量。
金屬顆粒: 
偏光掃描解決在明場中單個金屬顆粒表面多個位置反光造成的數量統(tǒng)計不準確。
顯微鏡使用的光源，其出射光經過線性偏振后再照射到濾膜表面。通過偏振光物理原理應用來識別、對比顆粒在不同偏振光下的圖片，而后鑒別出金屬和非金屬顆粒。
偏光掃描：2次掃描，過程全自動偏光，偏光掃描統(tǒng)計所有顆粒數量及測量尺寸，再明場掃描定性顆粒性質（金屬or非金屬），減少誤判。
明場掃描：1次掃描，一個大金屬顆粒被分解成數個金屬顆粒及非金屬顆粒，尺寸和顆粒的數量。統(tǒng)計不準確。
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