国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>其他文章>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

3D激光檢測:支持微凸點技術(shù)

來源:江蘇新高科分析儀器有限公司   2017年02月24日 19:38  

微凸點晶圓的出現(xiàn)使測量和檢測技術(shù)面臨著巨大的挑戰(zhàn),對該技術(shù)的zui基本要求是任一可行的檢測技術(shù)必須能達到測量微凸點特征尺寸所需的分辨率和靈敏度。在50µm(2密爾)節(jié)距上制作25µm(1密爾)凸點的芯片技術(shù),目前正在開發(fā)中,更小凸點直徑和更細節(jié)距的技術(shù)也在發(fā)展中。另外,當(dāng)單個芯片上凸點數(shù)量超過10,000個時,晶圓檢測系統(tǒng)必須有能力來處理凸點數(shù)迅速增加的芯片和晶圓。分析軟件和計算機硬件必須擁有足夠高的性能來存儲和處理每個晶圓上所存在的數(shù)百萬個凸點的位置和形貌數(shù)據(jù)。 

激光三角測量術(shù) 

發(fā)展的凸點檢測設(shè)備采用了激光三角檢測術(shù),經(jīng)特別設(shè)計的光學(xué)組件和分析算法,在全速生產(chǎn)情況下可對微凸點的特征尺寸進行高質(zhì)量的檢測。這項技術(shù)已經(jīng)用于類似尺寸金凸點的檢測上,也適合用于當(dāng)前和即將出現(xiàn)的微凸點技術(shù)中。 

在激光三角檢測術(shù)中,用一精細聚焦的激光束來掃描圓片表面,光學(xué)系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測器(圖1)。采用3D激光三角檢測術(shù)來檢測微凸點的形貌時,在精度、速度和可檢測性等方面它具有明顯的優(yōu)勢。這一檢測技術(shù)目前所面臨的挑戰(zhàn)包括有凸點的尺寸和凸點之間的間隔都很小,以及在整個圓片上布滿有數(shù)百萬個凸點。
newmaker.com 
圖1. 激光三角檢測術(shù)通過對聚焦激光探測束的反射來推算凸點的高度

激光三角檢測術(shù)在激光探測束的掃描過程中能獲得硅基片和凸點頂部數(shù)據(jù),由于它對凸點表面及其周邊的基片只進行單次的掃描,這樣就可以消除了在不同高度進行多次掃描而帶來的誤差和內(nèi)在的不確定性。單次掃描方法可對z方向進行高準(zhǔn)確度和高精密度的檢測,其性能可以達到探測器的理論分辨率——這要比目前凸點尺寸小一個數(shù)量級以上。 

激光三角檢測術(shù)除了具有很高的檢測準(zhǔn)確度和度以外,它還具有與生產(chǎn)能力相當(dāng)?shù)臋z測速度,數(shù)據(jù)的采集速率足以滿足大生產(chǎn)過程中對整個圓片進行檢測的需求。在全晶圓檢測模式中,系統(tǒng)通過一系列相近的線掃描來覆蓋整個圓片,單個掃描為600µm寬的長條形區(qū)域,所產(chǎn)生的典型數(shù)據(jù)密度為40,000個數(shù)據(jù)點/mm2(圖2)。變換采樣密度可對檢測過程進行優(yōu)化,以zui大程度地滿足某些特別應(yīng)用對分辨率、度和產(chǎn)量的要求,而且還可以很容易地滿足將來凸點直徑和節(jié)距進一步減小后對檢測的要求。數(shù)據(jù)密度能夠根據(jù)所需的特征尺寸和產(chǎn)量進行增加或減小。該系統(tǒng)可以在高產(chǎn)量下實現(xiàn)全晶圓的檢測,通過實施僅檢測芯片的采樣計劃,就有可能在維持檢測統(tǒng)計有效性的情況下來增加檢測產(chǎn)量。

圖2. 全圓片激光掃描可獲得40,000個數(shù)據(jù)點/mm2

可檢測性 

可以根據(jù)用戶的需求來選擇檢測系統(tǒng)上X和Y方向上各數(shù)據(jù)點之間的間隔。這一內(nèi)在的可測性使得用戶可以通過調(diào)整采樣密度來優(yōu)化整個檢測過程,以適應(yīng)某項特殊應(yīng)用中對檢測速度、分辨率和精度的不同要求。隨著凸點尺寸在不斷地減小,這就需要增加采樣密度來使檢測質(zhì)量能保持一個*的平衡。 

線掃描照相機 

對凸點工藝進行表征和監(jiān)控的關(guān)鍵是對凸點體積的計算。例如,某個凸點如果超出了其設(shè)計的體積量,就意味著在其上游工藝的模板層面可能出了問題。的體積測量需要地測定凸點的高度和直徑。一個具有時間延遲的積分線掃描照相機在測量直徑的精度上與激光三角檢測術(shù)測量高度的精度基本相當(dāng)。將這二者相結(jié)合,就能對凸點體積進行高準(zhǔn)確度、高度和高產(chǎn)量的檢測,這對微凸點大生產(chǎn)進行工藝控制是必需的。 

彩色的等高圖標(biāo)示出了凸點的高度、共面性、凸點直徑和圓片上每一凸點的體積(圖3)等信息。通過這種直觀的、可視化的顯示形式,我們可以在芯片和整個晶圓層面上來觀察測量數(shù)據(jù)的變化趨勢,以對工藝參數(shù)的偏離提供一個快速、的檢測,確認(rèn)其產(chǎn)生的根本Ô¬因,以及對相應(yīng)糾正行為的評估等。

圖3. 凸點檢測結(jié)果的直觀化和可視化顯示,很容易在芯片和整個晶圓層面上辨認(rèn)出凸點形貌的變化趨勢

在凸點檢測中所探測到的初始缺陷包括有:凸點間空隙中的焊料橋連缺陷和凸點缺失缺陷。 

免責(zé)聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
上虞市| 大宁县| 栖霞市| 谢通门县| 隆昌县| 双桥区| 普定县| 新绛县| 渑池县| 巴青县| 吴桥县| 凤城市| 黎川县| 郧西县| 江华| 社会| 灌云县| 鄢陵县| 平远县| 凯里市| 林州市| 双流县| 个旧市| 当雄县| 靖州| 芷江| 桑日县| 乐安县| 霍林郭勒市| 滁州市| 彰武县| 仁寿县| 鄂托克前旗| 西贡区| 祁阳县| 平乡县| 大足县| 铁岭县| 江西省| 万源市| 日喀则市|