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1、射頻發(fā)生器(RF)
(1) 電路類(lèi)型：電感反饋式自激振蕩電路，全自動(dòng)點(diǎn)火，全自動(dòng)化控制，所有功能實(shí)現(xiàn)電腦設(shè)置(點(diǎn)火、熄火、功率等參數(shù)設(shè)置)；實(shí)時(shí)功率控制；自動(dòng)匹配調(diào)諧；光室恒溫；自動(dòng)峰位校正；蠕動(dòng)泵進(jìn)樣，泵速連續(xù)可調(diào)；針對(duì)不同樣品有多種進(jìn)樣系統(tǒng)可以選擇(普通進(jìn)樣系統(tǒng)、耐高鹽進(jìn)樣系統(tǒng)、耐氫氟酸進(jìn)樣系統(tǒng))；防紫外線輻射、防高頻輻射觀察玻璃，使操作更安全。
同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，取功率反饋，進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制。
(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1%
(4) 輸出功率：800-1200w
(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%
(6) 電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身30cm
電場(chǎng)強(qiáng)度E：<2V/m，磁場(chǎng)強(qiáng)度H：<0.2A
2、進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝
(2) 炬管：三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
(5) 氬氣流計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
①、 等離子體流量計(jì)(100-1000)L/h ；(1.6-16L/min)
?、?、 輔助氣流量計(jì)(10-100)L/h ；(0.16-1.66L/min)
?、?、 載氣流量計(jì)(10-100)L/h ；(0.16-1.66L/min)
?、?、 載氣穩(wěn)壓閥(0-0.4MPa)
3、測(cè)光裝置:
(1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH
(2) 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V ，穩(wěn)定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號(hào)采集為V/F交換：1mV對(duì)應(yīng)100Hz
4、分光器:
(1) 光路: Czerny- Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數(shù)：0.26nm
(4) 波長(zhǎng)范圍：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長(zhǎng)范圍3600線/mm 掃描波長(zhǎng)范圍：190-500nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)zui小步距：0.0005nm
(8) 入射狹縫：20?m 出射狹縫：25?m
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：(78 × 105 × 16)mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像
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