激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）是一種激光燒蝕光譜分析技術(shù)，激光聚焦在測試位點(diǎn)，當(dāng)激光脈沖的能量密度大于擊穿閾值時(shí)，即可產(chǎn)生等離子體?；谶@種特殊的等離子體剝蝕技術(shù)，通常在原子發(fā)射光譜技術(shù)中分別獨(dú)立的取樣、原子化、激發(fā)三個(gè)步驟均可由脈沖激光激發(fā)源一次實(shí)現(xiàn)。等離子體能量衰退過程中產(chǎn)生連續(xù)的軔致輻射以及內(nèi)部元素的離子發(fā)射線，通過光纖光譜儀采集光譜發(fā)射信號，分析譜圖中元素對應(yīng)的特征峰強(qiáng)度即可以用于樣品的定性以及定量分析。

　　自從1960年*臺紅寶石激光器的發(fā)明為原子光譜分析注入新鮮血液之后，類似于火花源的激光光束聚焦擊穿現(xiàn)象即見諸文獻(xiàn)報(bào)道。1962年Jarrell-Ash的Brech發(fā)表*篇關(guān)于用激光產(chǎn)生等離子體進(jìn)行分析的文章，標(biāo)志著激光燒蝕分析技術(shù)的誕生。1964年，得益于激光器Q開關(guān)脈沖技術(shù)，使得激光燒蝕無需通過輔助電極放電，直接通過激光產(chǎn)生等離子體進(jìn)行分析，這也是今天LIBS的雛形。至20世紀(jì)80年代，美國Los Alamos實(shí)驗(yàn)室利用激光等離子體的光譜信息實(shí)現(xiàn)了對于物質(zhì)元素信息的測量，從而將該技術(shù)正式命名為LIBS (Laser Induced Breakdown Spectroscopy)。本世紀(jì)分析領(lǐng)域的一大新聞就是美國NASA采用LIBS技術(shù)作為火星車表面礦物分析手段——ChemCam，并地完成了科考任務(wù)。因而，LIBS技術(shù)的應(yīng)用也相應(yīng)地成為了一大研究熱門。

與其他常用元素分析的方法相比，其主要優(yōu)點(diǎn)有:

　　(1) 利用激光*的性能，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程、實(shí)時(shí)、在線元素檢測。

　　(2) 儀器體積相對較小，適用于現(xiàn)場分析、可在惡劣條件下進(jìn)行測定。

　　(3) 可用于各種形態(tài)的固體、液體甚至氣體分析，而且無需繁瑣的樣品前處理過程，分析簡便、快速。

　　(4)可測定難溶解的高硬度材料，對樣品尺寸要求不嚴(yán)格，且對樣品的破壞性小，實(shí)現(xiàn)微損甚至近于無損檢測，樣品消耗量極低(約0.1μg-0.1mg)。

　　(5) 分析時(shí)間短，從激光脈沖發(fā)射到信號收集的整個(gè)過程僅僅需要毫秒級別的時(shí)間。

　　(6) 可進(jìn)行多元素同時(shí)檢測。