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一、分析精度高
電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀可正確分析含量達(dá)到10-9級(jí)的元素，而且很多常見(jiàn)元素的檢出限達(dá)到零點(diǎn)幾μg/L，分析精度非常高。對(duì)高低含量的元素要求同時(shí)測(cè)定，尤其對(duì)低含量元素要求精度高的項(xiàng)目，使用ICP-AES法非常方便。
二、樣品范圍廣
電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀可以對(duì)固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)樣品直接進(jìn)行分析，但由于固態(tài)樣品存在不穩(wěn)定、需要特殊的附件且有局限性，氣態(tài)樣品一般與質(zhì)譜、氫化物發(fā)生裝置聯(lián)用效果較好，因此應(yīng)用zui廣泛也優(yōu)先采用的是溶液霧化法（即液態(tài)進(jìn)樣）。從實(shí)踐來(lái)看，溶液霧化法通常能取得很好的穩(wěn)定性和正確性。而在測(cè)試工作中，運(yùn)用一定的專業(yè)知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，采取各種化學(xué)預(yù)處理手段，通常都能將不同狀態(tài)的樣品轉(zhuǎn)化為液體狀態(tài)，采用溶液霧化法完成測(cè)定。溶液霧化法可以進(jìn)行70多種元素的測(cè)定，并且可在不改變分析條件的情況下，同時(shí)進(jìn)行多元素的測(cè)定，或有順序地進(jìn)行主量、微量及痕量濃度的元素測(cè)定。
三、動(dòng)態(tài)線性范圍寬
一般的精密分析儀器都有它的線性范圍（一般在103以下），以明確該類儀器正確測(cè)定的濃度區(qū)間（不同類型的儀器或同類不同生產(chǎn)廠家的儀器還有區(qū)別），假如待測(cè)元素的濃度過(guò)高或過(guò)低，就必須進(jìn)行化學(xué)處理，如稀釋或濃縮富集，使待測(cè)濃度位于誤差答應(yīng)的線性范圍之內(nèi)。因此，當(dāng)常量元素和微量元素需要同時(shí)測(cè)定時(shí)，就增加了分析的難度，加大了工作量，而測(cè)定結(jié)果往往還不理想。 電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀的動(dòng)態(tài)線性范圍大于106，也就是說(shuō)，在一次測(cè)定中，既可測(cè)百分含量級(jí)的元素濃度，也可同時(shí)測(cè)10-9級(jí)濃度的元素，這樣就避免了高濃度元素要稀釋、微量元素要富集的操縱，既進(jìn)步了反應(yīng)速度，又減少了繁瑣的處理過(guò)程不可避免產(chǎn)生的誤差。以粉煤灰為例，固態(tài)的粉煤灰經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)念A(yù)處理（根據(jù)待測(cè)元素種類確定預(yù)處理方法）轉(zhuǎn)化成液態(tài)，一次進(jìn)樣既可測(cè)定常量的鐵、鋁、鈣等元素，也可同時(shí)測(cè)定微量的釩、鉬等綜合利用及環(huán)境評(píng)定時(shí)的影響元素，方便正確。
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