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Smart-S超純水機在集成電路制造中制備純水過程
在大規(guī)模集成電路制造中，每一階段結(jié)束后，都要用水沖洗。因為在進行微米級的微細加工時，必須避免同會使半導(dǎo)體性能變壞的雜質(zhì)接觸，還要防止雜質(zhì)進入氣路導(dǎo)管。為了達到這一目的，用于沖洗的水要經(jīng)過超純水機嚴格提純制備。
在生產(chǎn)大規(guī)模集成電路時要求的超純水無法從自然獲得，必須通過超純水機或其他方式進行制備。超純水的精煉分為一次純水處理和二次純水處理。一般來說，通過Smart-S超純水機將向各車間供應(yīng)的純水集中處理是一次純水處理，各車間各自進行的處理是二次純水處理。
經(jīng)過超純水機提純的一次純水處理的水源有城市自來水、工業(yè)用水、河流的水、地下水、井水等，應(yīng)根據(jù)水源和水的性質(zhì)進行相應(yīng)過濾等前處理，然后用滲透膜和離子交換膜去除微細的懸浮液為例子和溶解于其中的物質(zhì)，以得到集成電路制作中所需要的水質(zhì)。經(jīng)過超純水機制備的一次純水已經(jīng)很干凈，但是非常容易溶解其他物質(zhì)，因此在貯存和運輸過程中，一定要小心使其不被重新污染。
為了保證水質(zhì)*符合要求，在使用現(xiàn)場還要再次進行精煉，即進行超純水機二次純水處理。二次純水處理設(shè)備就安裝在制造半導(dǎo)體器件的超凈房間里，或放在它的附近。二次純水處理所需要的Smart-S超純水機中包括有紫外線殺菌裝置，非再生型盒式離子交換裝置、微過濾器和超級過濾的薄膜過濾器等，經(jīng)過這樣一系列的嚴格制備所得到的超純水，能夠符合集成電路制造生產(chǎn)中對水的需求。
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