等離子體清洗活化技術(shù)的應(yīng)用，通過達(dá)因特公司的等離子體技術(shù)可使各種材料具有粘合性，表面的微結(jié)構(gòu)化，用于提高粘合力.

     等離子體應(yīng)用在汽車行業(yè)里已*。各項工藝流程之間必須互相精密協(xié)調(diào)，這是確保產(chǎn)品一貫具有高品質(zhì)的先決條件。通過我們的設(shè)備，我們能夠滿足汽車制造行業(yè)預(yù)處理技術(shù)的要求，例如，通過等離子體清洗工藝，清除制造殘留物或者有機硅殘留物。等離子活化也可用作粘合或者噴漆涂層的預(yù)處理，例如對高性能塑料進(jìn)行等離子體蝕刻，以及將等離子體涂層作為粘合促進(jìn)劑（等離子體底漆）。

    消費者對于產(chǎn)品的需求日益增加。用我們的等離子設(shè)備對表面進(jìn)行預(yù)處理，可以確保各類材料均可實現(xiàn)zui大程度的表面活化。 耐用的粘接接頭，生產(chǎn)時不產(chǎn)生有害物質(zhì)或者具有抗污性的表面，以及耐火功能涂層僅是幾個例子。等離子體可以確保具有可靠的附著性能，而且無需使用溶劑，例如，家具、白色家電、玩具和運動器材。

     制造工藝和所用材料的質(zhì)量對于模塊的使用壽命和有效性而言是極為關(guān)鍵的。經(jīng)常會發(fā)生由于氣候變化導(dǎo)致光伏模塊損壞的情況。 滲入水分會導(dǎo)致太陽能電池性能急劇下降。用我們的設(shè)備對太陽能模塊進(jìn)行等離子體預(yù)處理，可以顯著提高其質(zhì)量，從而確保模塊具有長期穩(wěn)定性和耐候性。

等離子活化:

     等離子活化是指通等離子工藝去除表面上的材料。因為傳統(tǒng)蝕刻工藝是使用腐蝕性酸進(jìn)行濕式蝕刻的。工藝氣體的等離子體將待蝕刻材料從固相轉(zhuǎn)化為氣相，并通過真空泵將氣相產(chǎn)物抽吸出來。借助掩膜可以只對部分區(qū)域或結(jié)構(gòu)進(jìn)行蝕刻。僅在低壓等離子體中進(jìn)行等離子蝕刻，因為達(dá)到規(guī)定的蝕刻作用，需要較長的處理時間。幾乎所有的蝕刻氣體都只能在低壓等離子體中使用。

    等離子蝕刻具有很多的應(yīng)用用途。對于蝕刻過程的優(yōu)化而言，提供了數(shù)目眾多的可用工藝氣體，并有 3 種基本蝕刻方法以供選擇。

    根據(jù)具體應(yīng)用情況，除了可稱為“物理蝕刻”，“濺射”以外，還可稱為“微噴砂”。

    工藝氣體是氬氣或者其他惰性氣體，但是其離子不會形成任何自由基。電場中加速運動的電子所產(chǎn)生的動能會將基材中的原子和分子分離出來，這正是蝕刻作用的原理。

等離子活化應(yīng)用用途：

    表面的微結(jié)構(gòu)化，例如，用于提高粘合力（“微噴砂”）

    蒸鍍源的噴射（“濺射”）

    因為離子蝕刻不發(fā)生化學(xué)作用，其幾乎適用于所有基材（幾乎沒有選擇性）。等離子體的蝕刻作用基本都是有離子加速度方向所決定的。其效果是強烈的各向異性。

    化學(xué)等離子蝕刻

    所用的工藝氣體，其分子在等離子體中主要分裂為自由基。蝕刻作用主要基于這些自由基與基材的原子或分子之間的反應(yīng)，以及其轉(zhuǎn)化得到的氣相分解產(chǎn)物。

    重要應(yīng)用用途：

    氧化層的降解

    去除光刻膠（“剝離”）

    矩陣灰化，用于分析

    蝕刻 PTFE

    半導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)化和微結(jié)構(gòu)化

    等離子蝕刻是非常有選擇性的，也就是說，工藝氣體和基材必須很好的進(jìn)行匹配。蝕刻作用是具有各向同性的，即，各個方向上的作用均是相同的。

    反應(yīng)性離子蝕刻

    氣體分子在等離子體中形成自由基和帶正電荷的離子。如果進(jìn)行了等離子激發(fā)，從而使電場中的離子加速，并射入至基材，則蝕刻過程除了可以利用離子的動能之外還可以利用自由基的反應(yīng)性作用。

    反應(yīng)性離子蝕刻綜合了離子蝕刻和等離子蝕刻的效果： 其具有一定的各向異性，而且未與自由基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的材料會被蝕刻。首先，蝕刻速率顯著增加。通過離子轟擊，基材分子會進(jìn)入激發(fā)態(tài)，從而更加易于發(fā)生反應(yīng)。

    等離子體活化應(yīng)用用途：

    主要用于蝕刻半導(dǎo)體

    蝕刻 PTFE

    通過達(dá)因特公司的等離子體技術(shù)還適用于使塑料具有粘合性，這是因為其表面能量壁“非粘合性”材料更低。對于聚丙烯 (PP)，聚丙烯 (PP)，聚乙烯 (PE) 或聚甲醛 (POM) 而言，是通過氧氣等離子體中活化達(dá)到這一目的的。對于具有zui低表面能量的塑料、PTFE 而言，僅活化處理是不夠的。在氧氣等離子體中，氟 - 碳鍵是無法斷裂的。

    但是在氫氣等離子體，氫自由基會和 PTFE 的氟原子結(jié)合，并斷開碳鍵。將氟化氫氣體*抽出，但仍然存在著非飽和性碳化合物，其會顯著吸附積聚極性液體分子。

    如果 PTFE 表面上存在褐色的變色的 情況，則表面蝕刻成功完成。