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真空等離子體清洗設(shè)備模型和配置,有效的等離子體處理

來(lái)源:東莞市晟鼎精密儀器有限公司   2017年11月20日 14:42  

   真空等離子體清洗設(shè)備是一種有效的等離子體處理,有一個(gè)特大的腔室進(jìn)行批量處理,它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機(jī)器,用于處理各種部件和部件.

     SPV型真空等離子體清洗系統(tǒng)是臺(tái)式的,*獨(dú)立的,需要zui小的工作臺(tái)空間。該系統(tǒng)的底盤有等離子室、控制電子、13.56 MHz的射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)(只有真空泵是系統(tǒng)外部的)。維護(hù)訪問是通過一個(gè)相互連接的門或可移動(dòng)的面板提供的。等離子體腔體支持7個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的動(dòng)力或接地的架子,以適應(yīng)各種各樣的部件、組件和包括雜志、托盤和船只在內(nèi)的部分載體。真空等離子體處理系統(tǒng)可以容納大量的過程氣體,包括氬、氧、氫、氦和氟化氣體。這兩種模型都帶有兩個(gè)電子質(zhì)量流控制器以達(dá)到的氣體控制,另外兩個(gè)可以隨意選擇(4個(gè)總zui大值)。用于驗(yàn)證過程中使用的定期校準(zhǔn)要求的便利設(shè)施連接。

真空等離子體清洗設(shè)備模型和配置,有效的等離子體處理

   SPV真空等離子體清洗系統(tǒng),前訪問允許方便地訪問所有內(nèi)部組件。該泵的定位是滾軸,便于拆卸。該等離子體室由11個(gè)規(guī)格的不銹鋼材料制成,具有堅(jiān)固耐用的耐用性。該房間有多個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的架子,以容納各種各樣的航空公司,包括雜志、托盤、威化和船只。采用可選高吞吐量貨架的SPA等離子處理系統(tǒng),結(jié)合了等離子處理系統(tǒng)的可靠性和工藝質(zhì)量,并證明了*的貨架設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn),優(yōu)化了在射頻等離子體中發(fā)現(xiàn)的活性離子的使用,提高了處理均勻性,同時(shí)降低了工藝時(shí)間,等離子處理系統(tǒng)允許從一系列的過程氣體中選擇,如氬、氫和氦。該標(biāo)準(zhǔn)配備了4個(gè)質(zhì)量流量控制器,用于*氣體控制。有槽的雜志是垂直放置在房間內(nèi)的。

真空等離子體清洗設(shè)備模型和配置,有效的等離子體處理

真空等離子體清洗設(shè)備模型和配置,有效的等離子體處理

   此外,開槽的空隙可以垂直放置在腔體內(nèi)。一般來(lái)說(shuō),每個(gè)腔體至少有20個(gè)鉛框架。根據(jù)真空等離子機(jī)腔體的大小,等離子室可以容納多達(dá)12個(gè)腔體空隙。

   等離子體SPC-1500真空等離子體清洗設(shè)備是一種有效的等離子體處理,有一個(gè)特大的腔室進(jìn)行批量處理。它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機(jī)器,用于處理各種部件和部件。它是*獨(dú)立的,并且需要zui少的地面空間。泵、室、控制電子和13.56 MHz的射頻發(fā)生器都包含在它的外殼內(nèi)。等離子體處理設(shè)備也提供滑出水平的貨架,便于裝卸。它的緊湊和服務(wù)友好的設(shè)計(jì)有一個(gè)小的占地面積,并且是為系統(tǒng)的前后維護(hù)而設(shè)計(jì)的。因此,可以將多個(gè)真空等離子體處理系統(tǒng)并排放置,以zui大限度地利用地板空間利用率。該泵的定位是滾軸,便于拆卸。

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