實驗內(nèi)容:
1.PSD測距原理;
2.PSD實驗誤差測量;
3.PSD輸出信號處理實驗;
4.PSD特性測試實驗;
5.PSD輸出信號誤差補償實驗 ;
6.一維PSD光學(xué)系統(tǒng)組裝調(diào)試實驗;
7.激光器驅(qū)動實驗。
實驗儀器:
PSD位置傳感實驗儀 型號:FMD5093
指標:
1.半導(dǎo)體激光器:650nm,5mW,直線驅(qū)動,帶準直調(diào)節(jié)固定架;
2.一維PSD:
光敏區(qū):1mm*5mm;
光譜范圍:380-1100nm;
峰值響應(yīng)度:0./W;
位置分辨率:<0.5um;
暗電流:10nA(Vr=5V);
間電阻:50K歐姆;
3.電壓表:200mV、2V、20V、200V、四檔可調(diào);測量精度:0.2%
4.升降底座:沿Z軸升降30mm;
5.二維底座:沿X軸方向平移10mm,Z軸升降30mm;
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