往復(fù)式真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。往復(fù)式真空泵的主要缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)較大等往復(fù)式真空泵，又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備之一。與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。

   1、當(dāng)活塞達(dá)到zui右位置時(shí)，氣缸內(nèi)就*充滿(mǎn)了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨著活塞從右向左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮，當(dāng)氣缸內(nèi)氣體的壓強(qiáng)達(dá)到或稍大于大氣壓時(shí)，排氣閥被打開(kāi)，將氣體排到大氣中，完成一個(gè)工作循環(huán)。

   2、當(dāng)活塞再自左向右運(yùn)動(dòng)時(shí)，又吸進(jìn)一部分氣體，重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，直到被抽容器內(nèi)達(dá)到某一穩(wěn)定的平衡壓力為止。這類(lèi)泵的主要缺點(diǎn)是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)較大等。其在很多場(chǎng)合可由液環(huán)式真空泵所取代。 

   3、運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)肘，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥進(jìn)入泵體左腔。