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能量色散X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測(cè)、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。激發(fā)單元的作用是產(chǎn)生初級(jí)X射線。
它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時(shí)冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測(cè)角儀、分析晶體等部分組成。
能量色散X射線熒光光譜儀技術(shù)原理
能量色散X射線熒光光譜儀是一種波長較短的電磁輻射，凡間是指能t局限在0.1^-100keV的光子。能量色散X射線熒光光譜儀與物質(zhì)的互相效果首要有熒光、接收和散射三種。
能量色散X射線熒光光譜儀是由物質(zhì)中的構(gòu)成元素發(fā)生的特征輻射，經(jīng)過側(cè)里和剖析樣品發(fā)生的x射線熒光，即可獲知樣品中的元家構(gòu)成，獲得物質(zhì)成分的定性和定量信息。
能量色散X射線的發(fā)生與特征當(dāng)用高能電子束照耀樣品時(shí)，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負(fù)的加快度會(huì)發(fā)生寬帶的延續(xù)X射線譜，簡稱為延續(xù)潛或韌致輻射。
另一方面，化學(xué)元素遭到高能光子或粒子的照耀，如內(nèi)層電子被激起，則當(dāng)外層電子躍遷時(shí)，就會(huì)放射出特征X射線。
能量色散X射線是一種別離的不延續(xù)譜.假如激起光源為x射線，則受激發(fā)生的x射線稱為二次X射線或X射線熒光。特征X射線顯示了特征能量色散X射線熒光光譜儀發(fā)生的進(jìn)程。
當(dāng)人射x射線撞擊原子中的電子時(shí)，如光子能量大于原子中的電子約束能，電子就會(huì)被擊出。這一互相效果進(jìn)程被稱為光電效應(yīng)，被打出的電子稱為光電子。經(jīng)過研討光電子或光電效應(yīng)可以取得關(guān)于原子構(gòu)造和成鍵形態(tài)的信息。
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