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石英晶體微天平可以測到的質量變化相當于單分子層或原子層的幾分之一，系統(tǒng)主要由電子振蕩電路、頻率計數(shù)器和壓電石英晶體3部分組成。隨著射頻系統(tǒng)小型化及對晶振抗振性、相位噪聲等參數(shù)要求越來越高，石英晶體諧振器尺寸進一步減小。微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術利用IC加工技術實現(xiàn)微納米尺度加工，在加工精度、加工手段等方面具有先天優(yōu)勢，因此石英晶體技術與技術的結合成為必然趨勢。共振頻率變化與沉積于石英晶體表面的物質質量成線性關系，共振時的電阻隨與表面接觸物質的黏/彈性而變化。
溫度能影響分子的聚集程度,在32℃的情況下，會發(fā)生親水基被包進分子內部而發(fā)生構型轉變導致其分子間斥力減小，分子卷曲而吸附于金片表面的吸附量增大同時表面粗糙度增大、接觸角增大，添加鹽使溶液離子強度增大，導致分子之間斥力減小而構型趨于卷曲，而吸附于金片上的吸附量變大，吸附的表面形貌顆粒大、均方根粗糙度大。適用于剛性和粘彈性薄膜。石英晶體微天平具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息，倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評價沉積方法。
儀器內部USB通訊接口，相對于原有儀器，穩(wěn)定性更強、通用性強，通信可靠不中斷，支持自恢復連接功能。自動切換兩路氣氛流量，切換速度快，穩(wěn)定時間短，標配標準樣品，方便客戶校正恒溫系數(shù)，預安裝軟件，無電腦適應性問題，減少由于更換使用電腦，安裝驅動錯誤導致的連接等問題，支持用戶自編程程序，實現(xiàn)測量步驟全自動化。軟件提供數(shù)十種指令，用戶可根據(jù)自己的測量步驟，靈活組合各指令，并保存。
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