導體電阻率測試儀的主要指標如下:
1.測量范圍:電阻率10-3—103Ω-cm,分辯率為 10-4Ω-cm ,可擴展到105Ω-cm
方塊電阻10-2—104Ω/□,分辯率為10-3Ω/□,可擴展到106Ω/□
薄層金屬電阻10-4—105Ω,分辯率為10-4Ω
2.可測半導體材料尺寸:直徑Φ15—Φ125mm; 長度:150mm(可擴展500mm)
3.測量方式:軸向、斷面均可
4.數(shù)字電壓表:(1)量程:20mV(分辯率:10μV)、200mV、2V
(2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±1字
(3)輸入阻抗:大于108Ω
(4)顯示3 1/2 位紅色發(fā)光二極管(LED)數(shù)字顯示
0---1999具有極性、過載、小數(shù)點、單位自動顯示
5. 恒流源:由交流供電,具有良好的防泄漏隔離功能
(1)直流電流:0—100mA連續(xù)可調(diào)
(2)量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
(3)分辯率:10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA
(4)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字
6.電性能模擬考核誤差:<±0.3%符合ASTM指標
7 .測試探頭:(1)探針機械游移率:± 0.3% 符合ASTM 指標
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