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電子級超純水中國國家標準（GB/T11446.1-1997）
| 項目 級別 | 比電阻 MΩ.cm@25℃ | 硅 ≤ μg/L | >1μm微粒數(shù) < 個/ml | 細菌個數(shù)< 個/ml | 銅≤μg/L | 鋅≤μg/L | 鎳≤μg/L | 鈉≤μg/L | 鉀 ≤ g/L | 氧≤ μg/L | 硝酸根≤ μg/L | 磷酸根≤ μg/L | 硫酸根 ≤μg/L | 總有機碳≤μg/L |
| EW-Ⅰ | 18（95%的時間不低于17） | 2 | 0.1 | 0.001 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 20 |
| EW-Ⅱ | 15（95%的時間不低于13） | 10 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 100 |
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