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臺階輪廓測試儀kia-tencor在半導(dǎo)體的應(yīng)用
儀器簡介：
應(yīng)用：
◆薄膜厚度測量；
◆樣品表面形貌測量；
◆薄膜應(yīng)力測量；
◆樣品表面粗糙度/波紋度測量；
◆樣品表面三維形貌測量等。
技術(shù)參數(shù)：
KLA-Tenco探針式臺階儀，可測量納米級至2毫米臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力，集高測量精度、多功能性和經(jīng)濟(jì)性于一體，是生產(chǎn)線及材料分析等應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及分辨率,
主要特點(diǎn)：
◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭，經(jīng)久耐用。探針更換簡便、快速，軟件具有保護(hù)測針以免發(fā)生損壞功能；
◆探針掃描是雙向的，即可以從左向右，又可以從右向左；
◆無論何時只要測針下伸的時間超過 60 秒，但仍然沒有開始掃描，測針將自動升起；
◆當(dāng)測針達(dá)到其測量范圍的上*，測針自動縮回，掃描終止；（備注：當(dāng)測針達(dá)到其上*，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見，可以用程序設(shè)置升降器，使其僅可以降低到一個預(yù)設(shè)的限制；
◆可為用戶提供中文操作界面，可以提供中文操作手冊；
◆軟件界面友好，簡單易學(xué)，功能大。
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