結合高溫真空氣氛爐的實驗工藝要求進行的操作過程
高溫真空氣氛爐的操作規(guī)程詳解
1.打開高溫真空氣氛爐爐門取出隔熱屏,放入處理物品于高溫區(qū)內(nèi),再將隔熱屏放好,關閉爐門鎖緊,并關好所有閥門。
2.接通氣氛管式爐電源,打開循環(huán)水。
3.高溫真空氣氛爐操作使用方法:
?、匍_機械泵,開真空閥,抽真空至真空壓力表達到-0.1mPa后關閉真空閥。
?、陂_保護氣體減壓閥,開真空閥,對爐膛充氣,使真空壓力表回至“0”后,關閉真空閥。
?、壑貜筒襟E①和②三次,使爐膛內(nèi)的空氣被排盡。
?、荜P機械泵。對爐膛充氣使真空壓力表回至“0”后,打開放氣閥,調(diào)節(jié)微調(diào)閥,使氣體流量穩(wěn)定,出氣端水泡連續(xù)。
⑤對爐膛進行加溫,應按“調(diào)節(jié)儀”進行,結合實驗工藝要求操作。
⑥實驗結束,爐子溫度降至實驗工藝要求范圍后,先關閉放氣閥,在關閉真空閥,關微調(diào)閥和氣體減壓閥。
?、哧P閉總電源、循環(huán)水(一般爐溫小于60℃,關閉循環(huán)水)。
高溫真空氣氛爐的注意事項:
1、清化jia(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
2、除了做實驗外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
3、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時,請立即通知有關人員(技術員等)。
4、請節(jié)約純水用量。
5、實驗工作完畢時,若無人繼續(xù)使用,請關特殊氣體,保留N2流動,爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關而沒有關,如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關掉。
6、處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
7、長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。
8、晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
9、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。
10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
11、破晶片、濾紙、棉花棒等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
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