ALICAT質(zhì)量流量控制器原理應用及產(chǎn)品概觀
ALICAT MC-Gas質(zhì)量流量控制器響應氣體流量控制，抑制壓力波動
的MFC只需做一件事：將流速保持在設定值。Alicat的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設定值，即使在壓力峰值的情況下也能保持穩(wěn)定。我們將使用您的應用參數(shù)來定制閥門和PID調(diào)節(jié)，以確保它提供快速和穩(wěn)定的控制。
多才多藝。在監(jiān)控流速的同時控制壓力，動態(tài)選擇另一種氣體校準或使用COMPOSER?定義您自己的氣體成分。
連接的。 通過Ethernet / IP，EtherCAT，DeviceNet，Profibus，Modbus（RTU和TCP / IP）或串行通信選項輕松集成到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡中。
耐用。 MC系列流量控制器可暫時流動液體而不會被破壞。為了環(huán)境耐用，我們可以構建具有IP66入口保護的MFC。
可用范圍：大0-5000 slpm，小0-0.5 sccm /0-500sμlm（有關庫存范圍，請參閱零件號選項卡）
調(diào)節(jié)比：200：1（MC）或100：1（MCS）
標準精度校準，NIST可追溯：+/-（讀數(shù)的0.8％+滿量程范圍的0.2％）
可選的高精度校準，NIST可追溯：+/-（讀數(shù)的0.4％+滿量程范圍的0.2％）
重復性：滿量程范圍的0.2％
典型控制響應時間常數(shù)：50-100 ms（PID調(diào)節(jié)時低至25 ms）
無需預熱時間
ALICAT質(zhì)量流量控制器運行條件
兼容氣體：98（MC）或130（MCS）預加載可選氣體校準; 可用COMPOSER定義的其他混合物
工作溫度：-10°C至+ 60°C
大內(nèi)壓（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
證明壓力：175 psig（190 psia）
STP / NTP：用戶可選擇（默認為25°C和1 atm STP / 0°C和1 atm NTP）