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晶圓接觸角測量儀測試視頻及效果-晟鼎精密儀器

來源:東莞市晟鼎精密儀器有限公司   2019年04月08日 17:41  

    晶圓接觸角測量儀采用先進(jìn)的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī),配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng),搭配三維樣品臺,可進(jìn)行工作臺上下、前后等方向移動。實現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動。同時還設(shè)計了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺,能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié),擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能,測試多次后的結(jié)果可以同時保存在同一報告下,能讓用戶更好的對材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。

    晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓(Wafer)工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓(Wafers)表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析,從而評估粘性,潔凈度及鍍膜。采用輕量化的設(shè)計、組裝方便和新的基于Windows標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個即容又容易使用的接觸角測量儀系統(tǒng)。注射滴液機(jī)制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。用于晶圓表面分析,同時也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應(yīng)用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。

 

    接觸角測量儀主機(jī)及測試視頻的操作視頻及圖片:

晶圓接觸角測量儀.jpg

晶圓接觸角測量儀調(diào)試過程.jpg

(1)主機(jī)使用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計理念,自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器以佳狀態(tài)運(yùn)行;

(2)成像部分使用高性能日本*工業(yè)機(jī)芯及無失真遠(yuǎn)心鏡頭確保成像效果。

(3)工業(yè)級可調(diào)LED單波長冷光源系統(tǒng),成像更清晰

(4)自動位移平臺,實現(xiàn)Y、Z自動定位測量,定點地位更,測量效率更高

規(guī)格:

主機(jī)外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高)                 主機(jī)凈重:55KG

工作臺面尺寸:420mm*420mm

工作臺移動:自動,行程160mm,精度0.01mm;上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

進(jìn)樣器移動:自動上下60mm(自動);  左右30mm

工業(yè)鏡頭:前后移動30mm(微調(diào)3mm),0.7X *-4.5X連續(xù)變倍變焦顯微鏡

CCD:SONY*高速工業(yè)級芯片; 鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察

光源:LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級冷光源;使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時以上

電源及功率:220V / 60HZ

晶圓產(chǎn)品處理前WORD報告及測試圖片:我們對樣品進(jìn)行十個點的測試,平均角度72.04度。

 

檢測單位

SINDIN

試驗日期

2018-10-09

操作人員

魏工

打印時間

14:36:02

固體試樣

晶圓

液體試樣

溫度(℃)

25

濕度(%)

60

產(chǎn)品名稱

 

物料號

12寸晶圓

備注

 

供應(yīng)商名稱

視涯

試驗要求

未清洗前晶圓測試

大角度

82.38

小角度

67.48

平均角度

72.04

晶圓接觸角測量儀測試視頻及效果

 

晶圓接觸角測量儀測試視頻及效果

晶圓產(chǎn)品處理后WORD報告及測試圖片:我們對樣品進(jìn)行十個點的測試后,再用等離子清洗機(jī)處理,平均角度16.58度。

 

檢測單位

SINDIN

試驗日期

2018-10-09

操作人員

魏工

打印時間

15:36:20

固體試樣

晶圓

液體試樣

溫度(℃)

25

濕度(%)

60

產(chǎn)品名稱

 

物料號

12寸晶圓

備注

 

供應(yīng)商名稱

視涯

試驗要求

未清洗前晶圓測試

大角度

25.65

小角度

9.55

平均角度

16.58

晶圓接觸角測量儀測試視頻及效果

 

晶圓接觸角測量儀測試視頻及效果

 

 

標(biāo)樣校檢報告:

儀器檢驗信息

儀器名稱:

  接觸角測量儀

檢驗時間:

2018.10.08

 

儀器型號:

 SDC-500

溫    度:

27

 

儀器編號:

 SDCA1810001

濕    度:

68%

 

測試方法:

橢圓法及圓環(huán)法  基于大于等于20°使用橢圓法檢測 小于20°用圓環(huán)法檢測

校正信息

精度:

±1°

     
 

校準(zhǔn)度數(shù):

 3°  60°  120°   115°

 

校驗標(biāo)準(zhǔn):

標(biāo)樣  ---- 含德國TUV認(rèn)證的檢測報告

   

 

圓弧3°

 

圓弧60°

序號

標(biāo)樣數(shù)據(jù)(°)

檢測數(shù)據(jù)(°)

誤差(°)

 

序號

標(biāo)樣數(shù)據(jù)(°)

檢測數(shù)據(jù)(°)

誤差(°)

1

3

2.876

0.124

 

1

60

59.920

0.080

2

3

3.101

0.101

 

2

60

60.000

0.000

3

3

3.121

0.121

 

3

60

60.000

0.000

4

3

3.105

0.105

 

4

60

59.928

0.072   

5

3

2.839

0.161

 

5

60

60.652

0.652

圓弧120°

 

橢圓115°

序號

標(biāo)樣數(shù)據(jù)(°)

檢測數(shù)據(jù)(°)

誤差(°)

 

序號

標(biāo)樣數(shù)據(jù)(°)

檢測數(shù)據(jù)(°)

誤差(°)

1

120

120.100

0.100

 

1

115

115.146

0.146

2

120

120.082

0.082

 

2

115

114.910

0.090

3

120

120.000

0.000

 

3

115

115.120

0.120

4

120

120.170

0.170

 

4

115

115.027

0.027

5

120

119.875

0.125

 

5

115

115.159

0.159

 

測試平臺移動確認(rèn):

合格

 

滴液精度:0.1μL

合格

測量范圍:0-180°

合格

 

測量軟件:

合格

測量精度:±0.1°

合格

 

測量重復(fù)性精度:±1°

合格

mapping功能

合格

 

外觀部件:

合格

輸出測量報告功能

合格

 

檢測數(shù)據(jù):

合格

                                   

綜合判定:合格

 

 

校檢單位:東莞市晟鼎精密儀器有限公司

 

效驗人員:趙衛(wèi)                             主管:張新飛

 

 

 

晶圓系列接觸角測量儀對于工藝的表面涂覆評估;

 表面污染物檢測;

 表面親疏性的研究;

 表面潤濕性能的判斷;

  涂覆均勻性檢測;

  涂覆質(zhì)量評估;

  表面清潔度檢測;

  研究粘附性、潤濕特性、粘接質(zhì)量、表面處理;

  半導(dǎo)體晶片、硬盤、 平板顯示器和生物材料等表面涂層的吸收研究。

 

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