作為一種微觀形態(tài)學(xué)工具，光學(xué)顯微鏡在工業(yè)測(cè)試方面的應(yīng)用，目前主要大家比較熟悉的主要是以下方面：
首先，單獨(dú)作為形態(tài)學(xué)工具，進(jìn)行材料組織分析和外觀缺陷檢查，其典型的產(chǎn)品是金相顯微鏡和立體顯微鏡。
第二、光柵量測(cè)結(jié)合，進(jìn)行部件的精密尺寸測(cè)量，其典型的產(chǎn)品是工具顯微鏡，測(cè)量顯微鏡。
近年來(lái)，隨著計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)的發(fā)展，顯微鏡與圖象處理系統(tǒng)的結(jié)合，產(chǎn)生了定量金相軟件、工顯測(cè)量軟件、一般幾何測(cè)量軟件等等，使其不僅可以定性分析，更能在定量化上發(fā)揮重大作用。
但光學(xué)顯微鏡的局限在于，它是一種二維的形態(tài)學(xué)工具，其極限有效分辨率是0.35微米，該分辨率下的景深在1微米以下。因此如果要在高倍率下觀察表面的三維形態(tài)，特別是縱向方向的形態(tài)，通常一定需要使用SEM而不是OM。SEM是這一方面非常成熟有效的標(biāo)準(zhǔn)工具，但有些樣品使用SEM會(huì)碰到以下困難：
1、   樣品本身比較大，且不能做分割的器件組，雖然被觀察的部分是微小的局部，但整個(gè)樣品難以放入SEM中。
2、   非金屬樣品，且不適合做導(dǎo)電性處理。特別是一些對(duì)微小處理很敏感的樣品。
3、無(wú)法測(cè)量多種尺寸數(shù)據(jù)，比如體積，面積，粗糙度等等。
針對(duì)這些問(wèn)題，SEM廠家在不斷推出更新的技術(shù)。同時(shí)，光學(xué)顯微鏡也在探索如何使光學(xué)顯微鏡成為一種三維的微觀形態(tài)學(xué)工具。
這方面目前比較有成效的技術(shù)，是激光掃描共焦顯微鏡（CF-LSM）。
共聚焦激光掃描顯微鏡的發(fā)展在國(guó)外，主要為日本。是從80年代末期開(kāi)始的，目前在日本，共聚焦激光掃描顯微鏡已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)，既用來(lái)觀察樣品表面亞微米程度（0.12微米）的三維形態(tài)和形貌，又可以測(cè)量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等等。
另外，它還有以下特點(diǎn)：
1、   使用方便,與一般光學(xué)相似,且全部采用計(jì)算機(jī)直觀控制。
2、   基本無(wú)須制樣,不損傷樣品。不需要做導(dǎo)電處理,也容許大尺寸樣品直接觀察,*不破壞樣品。
3、   幾十秒到一兩分鐘即完成全部的掃描，成像，測(cè)量采樣工作。