工具顯微鏡是機械制造業(yè)、電子制造業(yè)、計量院所廣泛使用的一種多用途計量儀器?？梢杂脕頊y量量程內(nèi)的各種零件的尺寸、形狀、角度和位置。儀器采用光柵數(shù)顯技術對測量數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)處理，可使用影像法、軸切法、接觸法和雙光束干涉條紋法等多種方法進行測量。
原理 
以影像法和軸切法按直角坐標與極坐標地測量各種零件。
該類儀器分為工具顯微鏡,數(shù)據(jù)處理,圖像處理等幾類,他的國標參數(shù)相差不大,主要是他們的實現(xiàn)的方式不一樣.
特點：
采用進口精密光柵系統(tǒng)作為測量元件，具有發(fā)熱量低、抗腐蝕、耐污染、耐震性好等眾多優(yōu)點；
帶有功能強大的圖像處理軟件，可以完成復雜的測量工作，軟件數(shù)據(jù)能與CAD通訊，完成測繪工作；
采用半導體激光器作為指向器，用于快速確定測量部位，提高了定位圖像的效率；
軟件采用數(shù)碼圖像技術，自動識別輪廓邊界，減少人為誤差，提高操作效率；
保留目鏡光學系統(tǒng)作為輔助觀察口，并能快速切換；
帶有數(shù)顯分度臺和測高裝置，角度和高度全部數(shù)顯化，直觀、方便；
照明裝置全采用LED冷光源，發(fā)熱量低、使用壽命長；
主顯微鏡可左右偏擺，適用于螺旋狀零件測量。