MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數發(fā)生改變，從而實時改變光柵的工作性能，基于其*的優(yōu)勢，MEMS光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。功率放大器ATA-4012具有較高的電壓輸出、高頻率響應，大范圍驅動容性負載能力等優(yōu)點，完夠滿足驅動MEMS光柵測試的需求。

靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作位移，就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚至達到上百伏，當結構受靜電力作用，由于機械結構*的慣性而產生彈性震蕩，增大系統(tǒng)延遲。實際工作時，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導致驅動電路容性負載的變化。

MEMS光柵采用表面硅微加工工藝，通過加載驅動電壓，每一個光柵梁單元都可以在靜電力作用下通過引線連接實現編程控制，改變驅動電壓就可以控制光柵梁的運動位移。ATA-4012功率放大器輸出電壓160Vpp（±80V），頻率響應DC-1MHz范圍內，功率160W，可驅動高壓功率型負載。

功率放大器產品的功能特點及優(yōu)勢：

大輸出電壓160Vp-p(±80V)

大輸出電流2Arms

帶寬（-3dB）DC~1MHz

壓擺率500V/μs

電壓增益數控可調

一鍵保存常用設置

可與主流的信號發(fā)生器配套使用

輸入為BNC接口，輸入電阻50Ω、5kΩ兩檔可選，匹配高低內阻信號源。

輸出為香蕉插座，大輸出電壓160Vp-p(±80V)，輸出電流2Arms。

電壓增益數控0~50倍可調，具體分為粗調（1step）和細調（0.1 step）兩種。結合液晶面板增益的顯示，能夠快速調整至需要的電壓值。

操作面板液晶顯示，設備狀態(tài)及參數動態(tài)顯示，交互界面一目了然，簡潔易懂。

1/100 Monitor：此端口電壓為輸出端口的1/100，監(jiān)測口為BNC接頭，可以直接連接到示波器進行輸出電壓的實時監(jiān)測。

MEMS光柵測試是采用信號發(fā)生器對其動態(tài)性能進行測試，陶瓷電容代替光柵作為負載，MEMS光柵具有多種驅動方式，而靜電驅動的MEMS光柵，由于其工藝易于實現、耗能低、頻率響應高，因此是常用的驅動方式。