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超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子金屬顯微鏡
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子金屬顯微鏡現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子金屬顯微鏡"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子金屬顯微鏡通過(guò)電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
采用污染小、高真空樣品倉(cāng)
運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V
超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV
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