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大氣樣本是通過空氣采樣器正常收集，隨后通過一個(gè)石英過濾器或者過濾膜過濾。捕捉到的大氣灰塵，通常為微量水平，通過過濾器分離后,通過高靈敏度的電感耦合等離子體-原子發(fā)射光譜儀（ICP - AES）進(jìn)行有害成分的分析。
此儀器可同時(shí)對(duì)金屬及無機(jī)成分進(jìn)行高靈敏度的分析，并支持從微量到高濃度樣品分析，同時(shí)還可進(jìn)行研發(fā)分析，生產(chǎn)控制自動(dòng)分析以及環(huán)境管理中的水質(zhì)監(jiān)測(cè)。
真空光室可對(duì)S, B, I, Al和其他在真空紫外線區(qū)域擁有超高靈敏度分析線的成分進(jìn)行高靈敏度分析。由于不需要?dú)怏w吹掃，因此可減少氣體對(duì)流時(shí)的波動(dòng)和污染。所需穩(wěn)定時(shí)間短，并能確保長(zhǎng)時(shí)間分析的穩(wěn)定性。
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