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等離子體是物質(zhì)的第四態(tài)，其來(lái)源于氣態(tài)但又不同于氣態(tài)，當(dāng)氣態(tài)物質(zhì)升溫到一定溫度時(shí)，原子核外電子便會(huì)逃離原有軌道而成為自由電子，而逃離的電子和失去電子的原子核在數(shù)量上相等，使得整個(gè)體系的正電荷數(shù)與負(fù)電荷數(shù)相等，故稱之為等離子體。由此而產(chǎn)生的等離子體的組分有原子、分子、離子、電子、光子、活性組分、激發(fā)態(tài)的粒子等。
獲得等離子體的方法較多，有熱電離、光電離、氣體放電、輻射放電、沖擊波等，常規(guī)產(chǎn)生方法主要有2種，即電暈放電和輝光放電.電暈放電是指在大氣壓力下，通過(guò)在電極間施加高強(qiáng)度電壓而產(chǎn)生的弱電流放電，介質(zhì)通常為空氣;而輝光放電則是電場(chǎng)強(qiáng)度更高、氣壓低于大氣壓的高頻低壓放電，介質(zhì)可以選用不同氣體.
等離子體技術(shù)中明顯的特點(diǎn)就是等離子體具有一定的化學(xué)反應(yīng)特性?？梢砸砸环N不同于其他物質(zhì)的第四狀態(tài)存在，電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)原子、分子以及自由基等粒子等是組成等離子體的主要成分。在性能上表現(xiàn)為一種準(zhǔn)中性非凝聚系統(tǒng)。
學(xué)術(shù)上對(duì)等離子體的分類方式有很多，按照溫度來(lái)區(qū)分，可以分為熱力學(xué)平衡態(tài)和非熱力學(xué)平衡態(tài)等離子等離子體。熱力平衡狀態(tài)的等離子體所處于的環(huán)境較高，因此也可以稱之為高溫等離子體，相應(yīng)的非熱力學(xué)平衡狀態(tài)的等離子體也被稱為低溫等離子體。
等離子清洗機(jī)是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
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