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ICP光譜儀以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統(tǒng)，一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。
ICP光譜儀均用氬氣作為工作氣體，其原因有兩個：
一、氬ICP光源有良好的分析性能，分析靈敏度高且光譜背景較低；
二是用氬作等離子體易于形成穩(wěn)定ICP，所需的高頻功率也較低。
在ICP光譜技術(shù)發(fā)展過程中，曾多次探討用分子氣體（氮氣，空氣，氧氣，氬-氮混合氣）代替氬氣作工作氣體。分子氣體雖然在較高功率下也能形成等離子體焰炬，所形成的等離子體激發(fā)溫度也較氬等離子體低。工作氣體的電阻率，熱熔及熱導(dǎo)率等物理性質(zhì)是影響形成穩(wěn)定等離子體的另一個重要原因。氬的電阻率，熱熔和熱導(dǎo)率都是低的。低的熱導(dǎo)率可降低由于熱導(dǎo)散熱而造成的能量損失；提高等離子體的熱效率，熱導(dǎo)率的高低對于形成穩(wěn)定等離子體極為重要。據(jù)試驗表明，當(dāng)外管氣流量為5L/min氬氣時，石英矩管熱傳導(dǎo)分別損耗總能量的60%，43%及20%。由于前述的原因，氬氣較易形成穩(wěn)定的ICP。
ICP光譜儀負(fù)載終端采用全自動匹配技術(shù)，具有匹配速度快、精度高等優(yōu)點，適合油品等復(fù)雜基體直接進樣;確保了輸出功率大限度的加到了負(fù)載上面，提高電源的使用效率，從而提高儀器的穩(wěn)定性，并使得整個點火過程方便簡單。
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