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原子力顯微鏡（atomic force microscope，簡稱AFM）利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達到檢測的目的，具有原子級的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導體，也可以觀察非導體，從而彌補了掃描隧道顯微鏡的不足。原子力顯微鏡是由IBM公司蘇黎世研究中心的格爾德·賓寧與斯坦福大學的Calvin Quate于一九八五年所發(fā)明的，其目的是為了使非導體也可以采用類似掃描探針顯微鏡（SPM）的觀測方法。原子力顯微鏡（AFM）與掃描隧道顯微鏡（STM）大的差別在于并非利用電子隧穿效應，而是檢測原子之間的接觸，原子鍵合，范德瓦耳斯力或卡西米爾效應等來呈現(xiàn)樣品的表面特性。
原子力顯微鏡特點
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；
◆ 單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，準確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復消色差物鏡光學定位，無需調(diào)焦，實時觀測
原子力顯微鏡特點
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡單方便；
◆ 單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針，準確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復消色差物鏡光學定位，無需調(diào)焦，實時觀測
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