1 測量方法 

在單晶硅爐的觀察窗外架設(shè)一CCD相機(jī)，輔以隔熱護(hù)罩及濾鏡，從斜上方對固態(tài)晶體與液態(tài)融液的交界處形成的光圈進(jìn)行測量。 

可根據(jù)用戶的要求定制與控制系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊的接口，如：將監(jiān)控軟件嵌入到組態(tài)軟件中，或?qū)?shù)據(jù)轉(zhuǎn)化成數(shù)字或模擬信號傳送給控制器。 

2 技術(shù)規(guī)格 

· 可對4、6、8、12英寸的單晶硅棒進(jìn)行測量。 
· 可自動對引晶——放肩——收肩——等徑過程中的晶體直徑進(jìn)行測量。 
· 可對坩堝中的液面高度進(jìn)行測量。 
· 可檢測晶種（籽晶）與液面的接觸狀態(tài)。 
· 測量精度 0.1 mm。（注：按標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)配置，采集分辨率1392×1040；可根據(jù)用戶要求配置相機(jī)。） 
· 測量速率：每秒15個數(shù)據(jù)

軟件特色 

1) 可任意增加新的檢測品種，只需重新設(shè)置參數(shù)即可。 
2) 產(chǎn)品配置可保存，程序運(yùn)行時選擇待測產(chǎn)品的型號即可導(dǎo)入其配置參數(shù)。 
3) 可手動或自動保存圖像，并可設(shè)定大保存數(shù)。 
4) 可對已保存的圖像進(jìn)行回放，并查看圖像處理結(jié)果。 
5) 在屏幕上直觀的顯示檢測結(jié)果和狀態(tài)信息，并可在不同的視圖顯示模式中切換。 
6) 人機(jī)界面簡單：只需大致調(diào)整處理區(qū)域并設(shè)置少量參數(shù)即可。 
7) 參數(shù)設(shè)置具有密碼保護(hù)功能。 
8) 自動軟鍵盤，方便觸摸屏操作。 
9) 程序界面顯示當(dāng)前產(chǎn)品型號。